仕様

Specifications1,2,5

Quasar UV80 Quasar UV60 Quasar
UV60-Turbo		 Quasar UV45 Quasar GR95 Quasar GR75
Wavelength 355 nm 355 nm 355 nm 355 nm 532 nm 532 nm
Output Power >80 W @ 200 kHz, 10 ns >60 W @ 200 kHz, 10 ns
>60 W @ 300 kHz, 10 ns		 >38 W @ 3 MHz, 2 ns >45 W @ 200 kHz, 10 ns
>45 W @ 250 kHz, 10 ns
>41 W @ 300 kHz, 10 ns		 >95 W @ 200 kHz, 10 ns >75 W @ 200 kHz, 10 ns
Maximum Pulse Energy or Burst Energy  >400 µJ (pulse) >300 µJ (pulse) >12 µJ (pulse) >225 µJ (pulse) >475 µJ >375 µJ
Repetition Rate Range 0–3.5 MHz 0–3.5 MHz 0–3.5 MHz 0–1.7 MHz 0–3.5 MHz 0–1.7 MHz
Optimized TimeShift™ Setting
(Nominal setup for beam optimization)		 200 kHz, 10 ns 300 kHz, 10 ns 3 MHz, 2 ns 300 kHz, 10 ns 200 kHz, 10 ns
Pulse-to-Pulse Stability <5%, 1s
Power Stability (after warm-up) <2%, 1σ, over 8 hours
Beam Pointing Stability <±25 µrad/°C
Peak Stability (Peak to Peak) (after warm-up) ±3% over 8 hours
Polarization 100:1, vertical 100:1, horizontal
Spatial Mode TEM00 (M2 <1.3)
Beam Divergence, full angle <0.3 mrad <0.45 mrad
Beam Asymmetry <1.10
Pulse Width, FWHM (TimeShift programmable)3 <2 ns to >100 ns <5 ns to >100 ns <2 ns to >100 ns <5 ns to >100 ns
Beam Diameter (D4s) 3.5 ±0.35 mm
Boresight Tolerance ±0.5 mm
±5 mrad

Operating Conditions

Quasar UV80 Quasar UV60 Quasar
UV60-Turbo		 Quasar UV45 Quasar GR95 Quasar GR75
Warm-up Time, typical <40 min Electrical ON, Diodes OFF;
<60 min from Electrical ON, Diodes OFF
Temperature Range 15–35°C
Altitude 0–2000 m
Humidity 10–80% non-condensing

Storage Conditions

Quasar UV80 Quasar UV60 Quasar
UV60-Turbo		 Quasar UV45 Quasar GR95 Quasar GR75
Temperature Range 0–50°C
Altitude 0–10,000 m
Humidity 10–80% non-condensing

Electrical and Chiller Requirements

Quasar UV80 Quasar UV60 Quasar
UV60-Turbo		 Quasar UV45 Quasar GR95 Quasar GR75
Heat Load (at laser head) <1900 W <1500 W
Water Temperature (laser inlet) 20°C ±1°C
Water Temperature Stability ±0.5°C
Water Flow Rate (at laser head) ≥9.5 l/min
Power Input 190–240 VAC, 2500 Watts Maximum, 50/60 Hz, single phase
Heat Load (at power supply) <500 W <400 W
Power Consumption <2400 W <1900 W

Physical Characteristics

Quasar UV80 Quasar UV60 Quasar
UV60-Turbo		 Quasar UV45 Quasar GR95 Quasar GR75
Laser Head Dimensions (L x W x H)4 39.4 x 14.7 x 9.3 in (1000 x 373 x 235 mm)
Laser Head Weight 200 lbs (90 kg)
Power Supply Dimensions (L x W x H) 21.1 x 19.0 x 6.9 in (536 x 483 x 176 mm)
Power Supply Weight 35 lbs (16 kg)
Cable Length 5 m

Other

Quasar UV80 Quasar UV60 Quasar
UV60-Turbo		 Quasar UV45 Quasar GR95 Quasar GR75
Complies with EU Directive 2015/863/EU;
China RoHS2 GB/T 26572---2011 and
SJ/T11364---2014		 Yes
User Replaceable Output Window Yes
Optional Safety Shutter Yes
Data Log (includes customer version as well) Long and short term recording for diagnostics and equipment maintenance

Footnotes for UV Lasers:

  1. Due to our continuous product improvement program, specifications may change without notice.
  2. Quasar UV80 nm test specs are at 10 ns at 200 kHz with the diode current set to achieve 81 W. Quasar UV60 and UV45 nm test specs are at 10 ns at 300 kHz with the diode current set to achieve 62 W for the Quasar UV60, and 42 W for the UV45. Quasar UV60-Turbo test specs are at 3 MHz 2 ns with diode current set to achieve 40 W.
  3. Quasar UV80, UV60 and UV45: nominal pulse width 10 ns. Quasar UV60-Turbo nominal and pulse width is 2 ns. Alternative/programmable pulse widths using TimeShift will change power and beam parameter performance. Contact Spectra-Physics for more information.
  4. Quasar UV80, UV60, UV60-Turbo and UV45 dimensions noted do not include the standard removable lifting hoist exoskeleton or the optionally removable lift handles.
  5. Quasar is a Class IV - High Power Laser, whose beam is, by definition, a safety and fire hazard. Take precautions to prevent exposure to the direct and reflected beams. Diffuse as well as specular reflections can cause severe skin or eye damage.

Footnotes for Green Lasers:

  1. Due to our continuous product improvement program, specifications may change without notice.
  2. All green wavelength test specs are at 10 ns at 200 kHz with the diode current set to achieve 97 Watts for the Quasar GR95 and 77 Watts for the GR75.
  3. Quasar GR95 and GR75: nominal pulse width is 10 ns.
  4. Quasar GR95 and GR75 dimensions noted do not include the standard removable lifting hoist exoskeleton or the optionally removable lift handles.
  5. Quasar is a Class IV - High Power Laser, whose beam is, by definition, a safety and fire hazard. Take precautions to prevent exposure to the direct and reflected beams. Diffuse as well as specular reflections can cause severe skin or eye damage.

特徴

概要

Quasarシリーズの画期的なパフォーマンスは、他に類を見ない最高UV平均出力、高繰返し時のエネルギーなどを実現、高速マイクロマシニングにおいて業界をリードしています。Quasarは、プログラム可能なパルスプロファイル用の最新のTimeShiftテクノロジーを備え、究極のプロセス速度、柔軟性、および制御を実現します。

画期的なテクノロジー

Quasarは、高度なファイバーレーザー、パワーアンプ、特許取得済みの高調波テクノロジーを組み合わせて、画期的な結果を実現。この独自の設計は、ファイバーレーザーの柔軟性と堅牢性によるTimeShiftテクノロジーを実現可能にしています。Spectra-Physics独自のパワーアンプを追加し、Quasarは前例のない高出力パワーレベルでこの柔軟性を強化します。最後に、卓越した安定性で知られるSpectra-Physicsの特許取得済みの高調波により、Quasarは、最も厳しい要求を求められるアプリケーション向けに、信頼性の高い24時間運転のOEMレーザーで、パワー、柔軟性、制御の革新的な相乗効果を提供し続けます。

画期的なパフォーマンス

Quasar UV80は、Quasar UV45、UV60、UV60-Turboレーザーに加え、更に高出力、200kHz 10nsで>80WのUV出力、および>400µJのパルスエネルギーを出力します。Quasar UV80は、0〜3.5MHzの広い繰返し周波数で動作し、パルス幅は<2ns〜>100nsです。Quasar UV60は、300kHz 10nsで>60WのUVを出力します。高繰返し性能のために最適化されたQuasar UV60-Turboは、3MHz 2nsで>38WのUVを出力します。Quasar UV60-Turboは、高速ポリゴンスキャンシステムとの連動に最適です。Quasar GR95は、Quasar UV45に加え、Quasar UV60と同様のパルス幅とPRF範囲で95Wを超えるグリーン光を出力します。

連続運転に対して高信頼性

Quasarは、要求度の高い24時間年中無休の製造環境で信頼性を保ちかつ継続的な運用を実現するために、厳しい品質基準に基づいて設計、製造、およびテストされています。内蔵のALPS（アクティブレーザーピュリフィケーションシステム）は、その性能を長持ちさせるのに役立ちます。そして最後に、Quasarレーザーの自動データロギングソフトウェアは、レーザーが運転可能である限りすべての主要なレーザー性能パラメーターを監視し、強力なサービス機能と製品信頼性ツールとして提供します。このソフトウェアの顧客バージョンも利用可能です。

Timeshift技術

Quasarは、このクラスで初めてTimeShiftテクノロジーを提供するレーザーであり、時間領域でパルスエネルギーのプログラムが可能です。時間と繰返し周波数でレーザーパルス(パルス幅と形状)を制御することにより、マイクロマシニングでの材料の除去や修正がより効率的になり、プロセスの速度と品質が向上に寄与します。TimeShift機能を高出力UVまたはグリーンレーザー光と組み合わせ、高い繰返し率で利用することは、Quasarがより多くの材料をより速く、より高品質で処理できることを意味します。 TimeShiftは、パルス幅の変動、パルス分割、バーストモード動作を可能にします。Quasar UV80、UV60、UV60-Turbo、およびGR95モデルでは、<2ns〜>100nsのパルス幅を一定の繰返し率で運転することも可能ですし、逆に、0〜3.5MHzのさまざまな繰返し周波数で一定のパルス幅を維持することも可能です。標準のTimeShift波形のセットは、各Quasarに付属しています。ユーザーがカスタム波形を開発できるようにするTimeShift GUIは、追加料金で利用可能です。


  • TimeShift 一定パルス幅 vs 周波数: 従来のQスイッチレーザーとは異なり、QuasarのTimeShiftテクノロジーは、広範囲の周波数にわたって一定のパルス幅を維持できます。 一定のパルス幅は、ピーク出力がより一定に保たれることを意味し、より高速でより一貫したプロセス結果を可能にします。  
  • TimeShift パルス幅可変とパルス整形: 特定の周波数のパルス幅を変えることで、材料のへの光との相互作用を最適化できます。 パルス内のエネルギーと強度を変更することにより（パルス整形）、材料の加熱または冷却がさらに最適化されます。
  • TimeShift パルス分割とバーストモード: 与えられた周波数でパルスを分割することで、熱またはプラズマを放散するさせ、より効率的な材料除去が可能となります。バースト内のパルスの数、間隔、および相対性強度を変更することにより、ワークピースの時空間熱プロファイルを正確に調整して、プロセスの速度や品質を向上させることができます。

適応パワーセンサー

Quasar レーザーのパワーを検証および分析するには、Ophir F80(120)A-CM-17 (7Z07103) または F150(200)A-CM-16 (7Z07107) サーマル センサーおよび Centauri レーザーパワーメーターをお勧めします。このレーザー測定装置に関する追加情報は、ophiropt.com の Web サイトでご確認いただけます。アプリケーションによっては、他の Ophir センサーとディスプレイも Quasar に適している場合があります。 また、 Ophir はレーザーシステム開発者と協力し、OEM ソリューションとしてシステムパフォーマンスをモニターする組み込み型ビームプロファイリングを可能にしています。

Recommended Optics & Optomechanics

It is critical to choose the right optics and optomechanical components that work best with your Quasar laser. Quasar’s high UV and green output power necessitates optics that have a high damage threshold. MKS Newport offers a wide selection of the highest quality optics and optical components covering the entire spectrum UV, VIS, NIR and IR wavelengths to help you with your most challenging applications.

リソース

Data Sheets

Drawings & CAD

Selection Guides

Application Notes

Technical Articles

設置準備ガイド