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IceFyre™
汎用性の高い画期的な微細加工産業向けの
UV＆IRピコ秒レーザーシステム
- 高繰返し域における最高出力UVおよびIRモデル
- 業界をリードするコストパフォーマンス
- 先例のないパルス制御能力
- ”It’s in the Box” コンセプトによるコンパクト設計
- 24時間連続運転を可能にする信頼性
IceFyre™ はマイクロマシンニング用ピコ秒レーザーとして特許出願中の新技術を採用, 卓越したパーフォーマンス, かつ先例のないコストパーフォーマンスを実現, 「It’s in the Box™」コンセプトを用いたレーザーと電源を一体化し, 業界で最もコンパクトな産業用ピコ秒レーザーです。
先例の無い柔軟性かつ卓越したパフォーマンス
新しいIceFyre 355-50は、市場で最も高性能なピコ秒UVレーザーでパルス幅は10psです。バーストモードにおいて数百μJのパルスエネルギー、1.25 MHz（> 40μJ）で> 50 WのUV出力を提供します。 IceFyre 355-50はその高出力とシングルショットから10 MHzまでの繰返し周波数の新しいスタンダードを提供します。 IceFyre 355-30は、60μJを超えるパルスエネルギー（バーストモードではより大きなパルスエネルギー）で、30Wを超えるUV出力を提供し、シングルショットから3 MHzまでの優れた性能を提供します。 IceFyre 1064-50は、400 kHzシングルパルスで50 Wを超えるIR出力電力を提供し、シングルショットから10 MHzまでの優れた性能を提供します。 IceFyreのユニークなデザインは、ファイバーレーザーの柔軟性とSpectra-Physics独自のパワーアンプ機能を利用し、TimeShift™psプログラマブルバーストモード技術を実現しており、業界で最も高い汎用性と広い運用範囲を実現しています。各レーザーには標準の波形セットが用意されています。オプションのTimeShift™ps GUIにより、カスタム波形の作成が可能です。このレーザ―デザインにより、ポリゴンスキャナを使用している場合などで、既存のピコ秒レーザーの中で最も低いタイミングジッターで真のパルスオンデマンド（ＰＯＤ）および位置同期レーザ出力（ＰＳＯ）を可能にし、高速走査速度での高品質処理を可能にします。
24時間連続稼働の安定性
IceFyreは、信頼性要求度の高い24時間連続稼働の製造現場に耐え得る厳格な品質基準により設計, 製造, 検査されており、高い品質と低い維持コストを実現します。 IceFyreの自動データログソフトウェアは、レーザー運転履歴におけるほぼすべてのパラメーターを保存しており、サービスやメンテナンス時の診断機能として役立つ強力なツールとなっています。
アプリケーション
| OLEDディスプレイ製造プロセス |
| 5Gフレキシブルプリント基板（FPC）切断、穴あけ |
| ITO切断、穴あけ |
| 半導体関連のスクライビング、穴あけ |
| PCB関連加工 |
| セラミックス切断、穴あけ、スクライビング |
| 太陽電池 スクライビング、穴あけ |
| LED スクライビング、ダイシング、パターニング |
| 金属 切断、穴あけ、マーキング |
Specifications1, 2, 10
| IceFyre 1064-50 | IceFyre 355-30 | IceFyre 355-50 | ||
|---|---|---|---|---|
| Wavelength | 1064 nm | 355 nm | ||
| Power2, 3 | >50 W @ 400 kHZ | >30 W typical @ 500 kHz >25 W @ 800 kHz >20 W typical @ 1 MHz |
>50 W @ 1250 kHZ | |
| Maximum Pulse Energy, typical (greater pulse energy per burst possible with TimeShift ps) |
>200 µJ single pulse @ 200 kHz | >60 µJ typical @ 500 kHz >31 µJ @ 800 kHz >20 µJ typical @ 1 MHz |
>40 µJ @ 1250 kHz | |
| Repetition Rate Range6 | Single shot to 10 MHz | Single shot to 3 MHz | Single shot to 10 MHz | |
| Pulse Width, FWHM2 | <20 ps (15 ps typical) | <12 ps (10 ps typical) | ||
| TimeShift ps | yes | |||
| Pulse-to-Pulse Energy Stability2 | <1.5% rms, 1 σ | <2.0% rms, 1 σ | ||
| Power Stability (after warm-up)2 | <1%, 1 σ, over 8 hours | |||
| IceFyre 1064-50 | IceFyre 355-30 | IceFyre 355-50 | ||
|---|---|---|---|---|
| Spatial Mode2 | TEM00, M2 <1.3 | |||
| Polarization | >100:1 vertical | |||
| Beam Diameter (D4σ)2 | 3.0 ±0.3 mm | 3.5 ±0.35 mm | 5.0 ±0.5 mm | |
| Beam Divergence, full angle2 | <0.75 mrad | <0.20 mrad | ||
| Beam Asymmetry2 | <1.10 (≥90% circularity) | |||
| Boresight Tolerance2 | ±0.5 mm, ±0.5 mrad | |||
| Beam Pointing Stability2 | <±25 µrad/°C | |||
| IceFyre 1064-50 | IceFyre 355-30 | IceFyre 355-50 | ||
|---|---|---|---|---|
| Warm-up Time, typical | <15 min from start mode, <40 min from cold start7 | <45 min from warm start mode,<60 min from cold start7 | ||
| Temperature Range | 15–30°C | |||
| Altitude | 0–2,000 m | |||
| Humidity7 | 0–90% non-condensing, dew point <19°C | |||
| IceFyre 1064-50 | IceFyre 355-30 | IceFyre 355-50 | ||
|---|---|---|---|---|
| Temperature Range | 0–50°C | |||
| Altitude | 0–10,000 m | |||
| Humidity7 | 0–90% non-condensing, dew point <22°C | |||
| IceFyre 1064-50 | IceFyre 355-30 | IceFyre 355-50 | ||
|---|---|---|---|---|
| Water Temperature (laser inlet) | 20 ±1°C, stable to ± 0.5 °C | |||
| Water Flow Rate (at laser head) | 1.8 GPM typical (6.8 LPM) | |||
| AC Input | 100–240 VAC, 1000 W Max, 50/60 Hz, single phase | 200 VAC (180-260), 2000 W Max, 50/60 Hz, single phase | ||
| Heat Load (at laser head) | <800 W (600 W typical) | <1600 W | ||
| Heat Load (at power supply) | <200 W | <300 W | ||
| Total Power Consumption | <1000 W | <2000 W | ||
| IceFyre 1064-50 | IceFyre 355-30 | IceFyre 355-50 | ||
|---|---|---|---|---|
| Laser Dimensions (L x W x H)4 |
29.50 x 12.13 x 7.50 in (749.5 x 308.0 x 190.6 mm) | 35.00 x 12.13 x 7.63 in (889.0 x 308.0 x 193.8 mm) | 42.14 x 19.88 x 7.63 in (1070.4 x 504.8 x 193.06 mm) | |
| Laser Weight | 95 lbs (43 kg) | 108 lbs (49 kg) | 215 lbs (97.5 kg) | |
| Dimension (Utility Module) (L x W x H) |
21.16 x 18.02 x 1.58 in (537.5 x 457.7 x 40.1 mm) | |||
| Weight (Utility Module) | 15.00 lbs (6.80 kg) | 22.80 lbs (10.34 kg) | 24.70 lbs (11.20 kg) | |
| IceFyre 1064-50 | IceFyre 355-30 | IceFyre 355-50 | ||
|---|---|---|---|---|
| EU RoHS 2 Compliant, China RoHS 2, CE Compliant |
Product compliant with restriction of hazardous substances | |||
| Internal Power Monitor | May be calibrated against an external power meter | |||
| Alignment Beam Mode | Lower power beam for installation and alignment in a tool(IR requires optional AOM) | |||
| Replaceable Output Window | Customer replaceable to maintain power in harsh environments | |||
| Data Log(includes customer version as well)9 | Long and short term recording for diagnostics and equipment maintenance | |||
| Optional Safety Shutter | Externally mounted for easy field service and customer replaceable | |||
| Optional Output AOM | Provides power attenuation at constant power, used with trigger, gate and pulse on demand, use as a process shutter | NA (Power attenuation by software control. Consult Spectra-Physics) | ||
| Optional TimeShift ps GUI | Enables waveform customization | |||
Footnote
1. Due to our continuous product improvement program, specifications may change without notice.
2. IR specifications are at 400 kHz single pulse with the diode current set to achieve 51 W, unless otherwise noted. IceFyre 355-30 specifications are at 800 kHz
single pulse with the diode current set to achieve 25.5 W, unless otherwise noted. IceFyre 355-50 specifications are at 1250 kHz single pulse with the diode
current set to achieve >50 W, unless otherwise noted.
3. IR power shown is without optional AOM.
4. Dimensions noted do not include the removable lift handles.
5. AC to DC converter module included with standard system.
6. Please consult factory for IR operation below 400 kHz without output AOM option.
7. Warm start: AC, chiller and GUI on, all diodes off.
8. High temperature, high humidity operation limited to dew point <19°C; high temperature, high humidity storage limited to dew point <22°C.
9. Customer version: future release.
10. IceFyre is a Class IV – High-Power Laser, whose beam is, by definition, a safety and fire hazard. Take precautions to prevent exposure to direct and
reflected beams. Diffuse as well as specular reflections can cause severe skin or eye damage.
IceFyre 1064-50 Laser Dimensions
IceFyre 355-30 Laser Dimensions
IceFyre 355-50 Laser Dimensions
Utility Module Dimensions
Data Sheets
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IceFyre Data Sheet |
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IceFyre Component Selection Guide |
