汎用性の高いUV、グリーンおよびIRピコ秒レーザー: ピコ秒マイクロマシニングの新しいスタンダード
IceFyre UV50 | IceFyre UV30 | IceFyre GR50 | IceFyre IR50 | |
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波長 | 355 nm | 532 nm | 1064 nm | |
出力2, 3 | >50 W @ 1250 kHZ | >30 W (典型値) @ 500 kHz >25 W @ 800 kHz >20 W (典型値) @ 1 MHz |
>50 W @ 500 kHZ | >50 W @ 400 kHZ |
最大パルスエネルギー典型値 (TimeShift psでは1バーストあたりのパルスエネルギーが大きくなる) |
>40 µJ @ 1250 kHz | >60 µJ (典型値) @ 500 kHz >31 µJ @ 800 kHz >20 µJ (典型値) @ 1 MHz |
>100 µJ @ 500 kHz | >200 µJ @ 200 kHz |
繰返し周波数6 | シングルショット - 10 MHz |
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パルス幅 (FWHM)2 | <12 ps (10 ps 典型値) | <15 ps (13ps 典型値) | ||
TimeShift ps | yes | |||
パルスエネルギー安定性2 | <2.0%、 1 σ | <1.5%、 1 σ | ||
出力安定性 (ウォームアップ後)2 | <1%, 1 σ、8時間以上 |
IceFyre UV50 | IceFyre UV30 | IceFyre GR50 | IceFyre IR50 | |
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空間モード2 | TEM00, M2 <1.3 | |||
偏光 | >100:1 (垂直) | >100:1 (水平) | >100:1 (垂直) | |
ビーム径 (D4σ)2 | 5.0 ±0.5 mm | 3.5 ±0.35 mm | 3.0 ±0.3 mm | |
ビーム拡がり角 (全角)2 | <0.20 mrad | <0.75 mrad | ||
ビーム非対称性2 | <1.10 (≥90% 真円度) | |||
ボアサイト公差2 | ±0.5 mm、 ±5 mrad | |||
ビーム位置安定性2 | <±25 µrad/°C |
IceFyre UV50 | IceFyre UV30 | IceFyre GR50 | IceFyre IR50 | |
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ウォームアップ時間 (典型値) | ウォームスタートモードから45分以内、コールドスタートから60分以内7 | スタートモードから15分以内、コールドスタートから 40分以内7 | ||
温度範囲 | 15-30°C | |||
高度 | 0-2,000 m | |||
湿度7 | 0-90% 結露無し、露点 <19°C |
IceFyre UV50 | IceFyre UV30 | IceFyre GR50 | IceFyre IR50 | |
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温度範囲 | 0-50°C | |||
高度 | 0-10,000 m | |||
湿度7 | 0-90% 結露無し、露点 <22°C |
IceFyre UV50 | IceFyre UV30 | IceFyre GR50 | IceFyre IR50 | |
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水温 (レーザー入射口) |
20 ±1°C、± 0.5°Cまで安定 | |||
水流量 (レーザーヘッド) | 1.8 GPM 典型値 (6.8 LPM) | |||
AC入力 | AC>200 V (180-260V)、最大2000 W、50/60 Hz、単相 | AC100-240 V、最大1000 W、50/60 Hz、単相 | ||
熱負荷 (レーザーヘッド) | <1600 W | <800 W (600 W 典型値) | ||
熱負荷 (電源) | <300 W | <200 W | ||
総消費電力量 | <2000 W | <1000 W |
IceFyre UV50 | IceFyre UV30 | IceFyre GR50 | IceFyre IR50 | |
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レーザー寸法 (L x W x H)4 |
42.14 x 19.88 x 7.63 in (1070.4 x 504.8 x 193.06 mm) |
35.00 x 12.13 x 7.63 in (889.0 x 308.0 x 193.8 mm) |
29.50 x 12.13 x 7.50 in (749.5 x 308.0 x 190.6 mm) |
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レーザー重量 | 215 lbs (97.5 kg) | 108 lbs (49 kg) | 95 lbs (43 kg) | |
寸法 (ユーティリティモジュール) (L x W x H) |
21.16 x 18.02 x 1.58 in (537.5 x 457.7 x 40.1 mm) | |||
重量 (ユーティリティモジュール) | 24.70 lbs (11.20 kg) | 22.80 lbs (10.34 kg) | 15.00 lbs (6.80 kg) |
IceFyre UV50 | IceFyre UV30 | IceFyre GR50 | IceFyre IR50 | |
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EU RoHS 2 準拠、中国 RoHS 2準拠、CE準拠 | 有害物質制限対応製品 | |||
内蔵パワーモニター | 外部パワーメーターに対して校正可能 | |||
アライメントビームモード | ツールへの取り付けと位置合わせのための低出力ビーム (IRにはオプションのAOMが必要) | |||
交換可能なアウトプットウインドウ | 過酷な環境でもパワーを維持するためにお客様による交換が可能 | |||
データログ (カスタマーバージョンも含む)9 | 診断や機器のメンテナンスのための長期および短期の記録 | |||
安全シャッター (オプション) | 外部取り付けによりフィールドサービスが容易、お客様による交換も可能 | |||
出力AOM (オプション) | NA (ソフトウェア制御によるパワー減衰) | 一定パワーでパワーを減衰、トリガー、ゲート、パルスオンデマンドで使用、プロセスシャッターとして使用 | ||
TimeShift ps GUI (オプション) | ウェーブフォームカスタマイズが可能 |
注釈:
IceFyre®はマイクロマシンニング用ピコ秒レーザーとして特許出願中の新技術を採用。卓越したパーフォーマンス、かつ先例のないコストパーフォーマンスを実現。「It’s in the Box」コンセプトを用いたレーザーと電源を一体化し、業界で最もコンパクトな産業用ピコ秒レーザーです。
IceFyre UV50は、市場で最も高性能なピコ秒UVレーザーであり、バーストモードにおいて100μJのパルスエネルギーと10psのパルス幅で、1.25MHz (>40μJ)で >50WのUV出力を提供します。IceFyre UV50はその高出力とシングルショットから10MHzまでの繰返し周波数の新しいスタンダードを提供します。IceFyre UV30は、60μJを超えるパルスエネルギー(バーストモードではより大きなパルスエネルギー)で、30Wを超えるUV出力を提供し、シングルショットから10MHzまでの優れた性能を提供します。IceFyre GR50は、500kHzで100µJを超えるパルスエネルギー、50Wを超えるグリーン出力を提供します。IceFyre IR50 は、400kHzシングルパルスで50Wを超えるIR出力を提供し、シングルショットから10MHzまでの優れた性能を提供します。
IceFyreのユニークなデザインは、ファイバーレーザーの柔軟性とSpectra-Physics独自のパワーアンプ機能を利用し、TimeShift psプログラマブルバーストモード技術を実現しており、業界で最も高い汎用性と広い運用範囲を実現しています。各レーザーには標準の波形セットが用意されています。オプションの TimeShift ps GUI により、カスタム波形の作成が可能です。このレーザ―デザインにより、ポリゴンスキャナを使用している場合などで、既存のピコ秒レーザーの中で最も低いタイミングジッターで真のパルスオンデマンド (POD) および位置同期レーザー出力 (PSO) を可能にし、高速走査速度での高品質処理を可能にします。
MKS の深い経験と技術に基づいて構築された特許出願中のIceFyre FSレーザーは、厳しい環境認定テストをクリアし、高い信頼性と低い維持コストを実現します。完全に自動化され、コンピューター制御されたレーザーは、24/7運転においても出力、ビームパラメーター、およびビームポインティングにおいて並外れた安定性を示し、要求の厳しいアプリケーションに高精度と再現性を提供します。
IceFyre レーザーのパワーを検証および分析するには、Ophir F80(120)A-CM-17 (7Z07103) サーマル センサーおよび Centauri レーザーパワーメーターをお勧めします。このレーザー測定装置に関する追加情報は、ophiropt.com の Web サイトでご確認いただけます。アプリケーションによっては、他の Ophir センサーとディスプレイも IceFyre に適している場合があります。 また、 Ophir はレーザーシステム開発者と協力し、OEM ソリューションとしてシステムパフォーマンスをモニターする組み込み型ビームプロファイリングを可能にしています。
It is critical to choose the right optics and optomechanical components that work best with your IceFyre laser. IceFyre’s high IR peak power necessitates optics that have a high damage threshold. MKS Newport offers a wide selection of the highest quality optics and optical components covering the entire spectrum UV, VIS, NIR and IR wavelengths to help you with your most challenging applications.