仕様

出力特性

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
波長 355 nm 532 nm 1064 nm
出力2, 3 >50 W @ 1250 kHZ >30 W (典型値) @ 500 kHz
>25 W @ 800 kHz
>20 W (典型値) @ 1 MHz
>50 W @ 500 kHZ >50 W @ 400 kHZ
最大パルスエネルギー典型値
(TimeShift psでは1バーストあたりのパルスエネルギーが大きくなる)
>40 µJ @ 1250 kHz >60 µJ (典型値) @ 500 kHz
>31 µJ @ 800 kHz
>20 µJ (典型値) @ 1 MHz
>100 µJ @ 500 kHz >200 µJ @ 200 kHz
繰返し周波数6 シングルショット - 10 MHz
パルス幅 (FWHM)2 <12 ps (10 ps 典型値) <15 ps (13ps 典型値)
TimeShift ps yes
パルスエネルギー安定性2 <2.0%、 1 σ <1.5%、 1 σ
出力安定性 (ウォームアップ後)2 <1%, 1 σ、8時間以上

ビーム特性

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
空間モード2 TEM00, M2 <1.3
偏光 >100:1 (垂直) >100:1 (水平) >100:1 (垂直)
ビーム径 (D4σ)2 5.0 ±0.5 mm 3.5 ±0.35 mm 3.0 ±0.3 mm
ビーム拡がり角 (全角)2 <0.20 mrad <0.75 mrad
ビーム非対称性2 <1.10 (≥90% 真円度)
ボアサイト公差2 ±0.5 mm、 ±5 mrad
ビーム位置安定性2 <±25 µrad/°C

動作条件8

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
ウォームアップ時間 (典型値) ウォームスタートモードから45分以内、コールドスタートから60分以内7 スタートモードから15分以内、コールドスタートから 40分以内7
温度範囲 15-30°C
高度 0-2,000 m
湿度7 0-90% 結露無し、露点 <19°C

保管条件8

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
温度範囲 0-50°C
高度 0-10,000 m
湿度7 0-90% 結露無し、露点 <22°C

電力、チラー要件7

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50

水温 (レーザー入射口)

20 ±1°C、± 0.5°Cまで安定
水流量 (レーザーヘッド) 1.8 GPM 典型値 (6.8 LPM)
AC入力 AC>200 V (180-260V)、最大2000 W、50/60 Hz、単相 AC100-240 V、最大1000 W、50/60 Hz、単相
熱負荷 (レーザーヘッド) <1600 W <800 W (600 W 典型値)
熱負荷 (電源) <300 W <200 W
総消費電力量 <2000 W <1000 W

物理的特性5

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
レーザー寸法
(L x W x H)4
42.14 x 19.88 x 7.63 in
(1070.4 x 504.8 x 193.06 mm)
35.00 x 12.13 x 7.63 in
(889.0 x 308.0 x 193.8 mm)
29.50 x 12.13 x 7.50 in
(749.5 x 308.0 x 190.6 mm)
レーザー重量 215 lbs (97.5 kg) 108 lbs (49 kg) 95 lbs (43 kg)
寸法 (ユーティリティモジュール)
(L x W x H)
21.16 x 18.02 x 1.58 in (537.5 x 457.7 x 40.1 mm)
重量 (ユーティリティモジュール) 24.70 lbs (11.20 kg) 22.80 lbs (10.34 kg) 15.00 lbs (6.80 kg)

特長

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
EU RoHS 2 準拠、中国 RoHS 2準拠、CE準拠 有害物質制限対応製品
内蔵パワーモニター 外部パワーメーターに対して校正可能
アライメントビームモード ツールへの取り付けと位置合わせのための低出力ビーム (IRにはオプションのAOMが必要)
交換可能なアウトプットウインドウ 過酷な環境でもパワーを維持するためにお客様による交換が可能
データログ (カスタマーバージョンも含む)9 診断や機器のメンテナンスのための長期および短期の記録
安全シャッター (オプション) 外部取り付けによりフィールドサービスが容易、お客様による交換も可能
出力AOM (オプション) NA (ソフトウェア制御によるパワー減衰) 一定パワーでパワーを減衰、トリガー、ゲート、パルスオンデマンドで使用、プロセスシャッターとして使用
TimeShift ps GUI (オプション) ウェーブフォームカスタマイズが可能

注釈:

  1. 製品の継続的改良のため、仕様は予告無しに変更されることがあります
  2. IRの仕様は、特に記載のない限り、400kHzにてシングルパルスで51W出力時のLD電流値でのものです。IceFyre UV30の仕様は、特に記載のない限り、800kHzにてシングルパルスで25.5W出力時のLD電流値でのものです。IceFyre UV50の仕様は、特に記載のない限り、1250kHzにてシングルパルスで>50W出力時のLD電流値でのものです。IceFyre GR50の仕様は、特に記載のない限り、500kHzにてシングルパルスで>50W出力時のLD電流値でのものです
  3. IRの出力は、オプションのAOM無しの場合です
  4. 記載されている寸法には、取り外し可能なリフトハンドルは含まれておりません
  5. AC/DCコンバータモジュールは標準システムに付属しています
  6. 出力AOMオプションなしの400kHz未満のIR動作については、お問い合わせください
  7. ウォームスタート: AC、チラー、GUIがオン、すべてのダイオードがオフ
  8. 高温多湿での動作は、露点<19°Cに制限されます。高温多湿の保管は露点<22°Cに制限してください
  9. IceFyreは、クラス4 (Class IV) 高出力レーザーであり、定義上そのビームは、危険かつ火災を発生する可能性があります。
    直接及び反射ビームの被ばくを防ぐための予防措置を講じてください。拡散反射であっても鏡面反射同様、深刻な皮膚や眼の損傷を引き起こす可能性があります

特徴

概要

IceFyre®はマイクロマシンニング用ピコ秒レーザーとして特許出願中の新技術を採用。卓越したパーフォーマンス、かつ先例のないコストパーフォーマンスを実現。「It’s in the Box」コンセプトを用いたレーザーと電源を一体化し、業界で最もコンパクトな産業用ピコ秒レーザーです。

先例の無い柔軟性かつ卓越したパフォーマンス

IceFyre UV50は、市場で最も高性能なピコ秒UVレーザーであり、バーストモードにおいて100μJのパルスエネルギーと10psのパルス幅で、1.25MHz (>40μJ)で >50WのUV出力を提供します。IceFyre UV50はその高出力とシングルショットから10MHzまでの繰返し周波数の新しいスタンダードを提供します。IceFyre UV30は、60μJを超えるパルスエネルギー(バーストモードではより大きなパルスエネルギー)で、30Wを超えるUV出力を提供し、シングルショットから10MHzまでの優れた性能を提供します。IceFyre GR50は、500kHzで100µJを超えるパルスエネルギー、50Wを超えるグリーン出力を提供します。IceFyre IR50 は、400kHzシングルパルスで50Wを超えるIR出力を提供し、シングルショットから10MHzまでの優れた性能を提供します。

IceFyreのユニークなデザインは、ファイバーレーザーの柔軟性とSpectra-Physics独自のパワーアンプ機能を利用し、TimeShift psプログラマブルバーストモード技術を実現しており、業界で最も高い汎用性と広い運用範囲を実現しています。各レーザーには標準の波形セットが用意されています。オプションの TimeShift ps GUI により、カスタム波形の作成が可能です。このレーザ―デザインにより、ポリゴンスキャナを使用している場合などで、既存のピコ秒レーザーの中で最も低いタイミングジッターで真のパルスオンデマンド (POD) および位置同期レーザー出力 (PSO) を可能にし、高速走査速度での高品質処理を可能にします。

24/7 運転を可能にする信頼性

MKS の深い経験と技術に基づいて構築された特許出願中のIceFyre FSレーザーは、厳しい環境認定テストをクリアし、高い信頼性と低い維持コストを実現します。完全に自動化され、コンピューター制御されたレーザーは、24/7運転においても出力、ビームパラメーター、およびビームポインティングにおいて並外れた安定性を示し、要求の厳しいアプリケーションに高精度と再現性を提供します。

適応パワーセンサー

IceFyre レーザーのパワーを検証および分析するには、Ophir F80(120)A-CM-17  (7Z07103) サーマル センサーおよび Centauri レーザーパワーメーターをお勧めします。このレーザー測定装置に関する追加情報は、ophiropt.com の Web サイトでご確認いただけます。アプリケーションによっては、他の Ophir センサーとディスプレイも IceFyre に適している場合があります。 また、 Ophir はレーザーシステム開発者と協力し、OEM ソリューションとしてシステムパフォーマンスをモニターする組み込み型ビームプロファイリングを可能にしています。

Recommended Optics & Optomechanics

It is critical to choose the right optics and optomechanical components that work best with your IceFyre laser. IceFyre’s high IR peak power necessitates optics that have a high damage threshold. MKS Newport offers a wide selection of the highest quality optics and optical components covering the entire spectrum UV, VIS, NIR and IR wavelengths to help you with your most challenging applications.