IceFyre™

汎用性の高い画期的な微細加工産業向けの
UV＆IRピコ秒レーザーシステム

  • 高繰返し域における最高出力UVおよびIRモデル
  • 業界をリードするコストパフォーマンス
  • 先例のないパルス制御能力
  • ”It’s in the Box” コンセプトによるコンパクト設計
  • 24時間連続運転を可能にする信頼性

IceFyre™ はマイクロマシンニング用ピコ秒レーザーとして特許出願中の新技術を採用, 卓越したパーフォーマンス, かつ先例のないコストパーフォーマンスを実現, 「It’s in the Box™」コンセプトを用いたレーザーと電源を一体化し, 業界で最もコンパクトな産業用ピコ秒レーザーです。

先例の無い柔軟性かつ卓越したパフォーマンス

新しいIceFyre 355-50は、市場で最も高性能なピコ秒UVレーザーでパルス幅は10psです。バーストモードにおいて数百μJのパルスエネルギー、1.25 MHz（> 40μJ）で> 50 WのUV出力を提供します。 IceFyre 355-50はその高出力とシングルショットから10 MHzまでの繰返し周波数の新しいスタンダードを提供します。 IceFyre 355-30は、60μJを超えるパルスエネルギー（バーストモードではより大きなパルスエネルギー）で、30Wを超えるUV出力を提供し、シングルショットから3 MHzまでの優れた性能を提供します。 IceFyre 1064-50は、400 kHzシングルパルスで50 Wを超えるIR出力電力を提供し、シングルショットから10 MHzまでの優れた性能を提供します。 IceFyreのユニークなデザインは、ファイバーレーザーの柔軟性とSpectra-Physics独自のパワーアンプ機能を利用し、TimeShift™psプログラマブルバーストモード技術を実現しており、業界で最も高い汎用性と広い運用範囲を実現しています。各レーザーには標準の波形セットが用意されています。オプションのTimeShift™ps GUIにより、カスタム波形の作成が可能です。このレーザ―デザインにより、ポリゴンスキャナを使用している場合などで、既存のピコ秒レーザーの中で最も低いタイミングジッターで真のパルスオンデマンド（ＰＯＤ）および位置同期レーザ出力（ＰＳＯ）を可能にし、高速走査速度での高品質処理を可能にします。

24時間連続稼働の安定性

IceFyreは、信頼性要求度の高い24時間連続稼働の製造現場に耐え得る厳格な品質基準により設計, 製造, 検査されており、高い品質と低い維持コストを実現します。 IceFyreの自動データログソフトウェアは、レーザー運転履歴におけるほぼすべてのパラメーターを保存しており、サービスやメンテナンス時の診断機能として役立つ強力なツールとなっています。

アプリケーション

OLEDディスプレイ製造プロセス
5Gフレキシブルプリント基板（FPC）切断、穴あけ
ITO切断、穴あけ
半導体関連のスクライビング、穴あけ
PCB関連加工
セラミックス切断、穴あけ、スクライビング
太陽電池 スクライビング、穴あけ
LED　スクライビング、ダイシング、パターニング
金属 切断、穴あけ、マーキング
 
 
Output Characteristics

Specifications1, 2, 10

   
 IceFyre 1064-50IceFyre 355-30IceFyre 355-50  
Wavelength 1064 nm 355 nm  
Power2, 3 >50 W @ 400 kHZ >30 W typical @ 500 kHz
>25 W @ 800 kHz
>20 W typical @ 1 MHz		 >50 W @ 1250 kHZ  
Maximum Pulse Energy, typical
(greater pulse energy per burst
possible with TimeShift ps)		 >200 µJ single pulse @ 200 kHz >60 µJ typical @ 500 kHz
>31 µJ @ 800 kHz
>20 µJ typical @ 1 MHz		 >40 µJ @ 1250 kHz  
Repetition Rate Range6 Single shot to 10 MHz Single shot to 3 MHz Single shot to 10 MHz  
Pulse Width, FWHM2 <20 ps (15 ps typical) <12 ps (10 ps typical)  
TimeShift ps yes  
Pulse-to-Pulse Energy Stability2 <1.5% rms, 1 σ <2.0% rms, 1 σ  
Power Stability (after warm-up)2 <1%, 1 σ, over 8 hours  
Beam Characteristics
   
 IceFyre 1064-50IceFyre 355-30IceFyre 355-50  
Spatial Mode2 TEM00, M2 <1.3  
Polarization >100:1 vertical  
Beam Diameter (D4σ)2 3.0 ±0.3 mm 3.5 ±0.35 mm 5.0 ±0.5 mm  
Beam Divergence, full angle2 <0.75 mrad <0.20 mrad  
Beam Asymmetry2 <1.10 (≥90% circularity)  
Boresight Tolerance2 ±0.5 mm, ±0.5 mrad  
Beam Pointing Stability2 <±25 µrad/°C  
Operating Conditions8
   
 IceFyre 1064-50IceFyre 355-30IceFyre 355-50  
Warm-up Time, typical <15 min from start mode, <40 min from cold start7 <45 min from warm start mode,<60 min from cold start7  
Temperature Range 15–30°C  
Altitude 0–2,000 m  
Humidity7 0–90% non-condensing, dew point <19°C  
Storage Conditions8
   
 IceFyre 1064-50IceFyre 355-30IceFyre 355-50  
Temperature Range 0–50°C  
Altitude 0–10,000 m  
Humidity7 0–90% non-condensing, dew point <22°C  
Electrical and Chiller Requirements7
   
 IceFyre 1064-50IceFyre 355-30IceFyre 355-50  
Water Temperature (laser inlet) 20 ±1°C, stable to ± 0.5 °C  
Water Flow Rate (at laser head) 1.8 GPM typical (6.8 LPM)  
AC Input 100–240 VAC, 1000 W Max, 50/60 Hz, single phase 200 VAC (180-260), 2000 W Max, 50/60 Hz, single phase  
Heat Load (at laser head) <800 W (600 W typical) <1600 W  
Heat Load (at power supply) <200 W <300 W  
Total Power Consumption <1000 W <2000 W  
Physical Characteristics5
   
 IceFyre 1064-50IceFyre 355-30IceFyre 355-50  
Laser Dimensions
(L x W x H)4		 29.50 x 12.13 x 7.50 in (749.5 x 308.0 x 190.6 mm) 35.00 x 12.13 x 7.63 in (889.0 x 308.0 x 193.8 mm) 42.14 x 19.88 x 7.63 in (1070.4 x 504.8 x 193.06 mm)  
Laser Weight 95 lbs (43 kg) 108 lbs (49 kg) 215 lbs (97.5 kg)  
Dimension (Utility Module)
(L x W x H)		 21.16 x 18.02 x 1.58 in (537.5 x 457.7 x 40.1 mm)  
Weight (Utility Module) 15.00 lbs (6.80 kg) 22.80 lbs (10.34 kg) 24.70 lbs (11.20 kg)  
Features
   
 IceFyre 1064-50IceFyre 355-30IceFyre 355-50  
EU RoHS 2 Compliant, China RoHS 2,
CE Compliant		 Product compliant with restriction of hazardous substances  
Internal Power Monitor May be calibrated against an external power meter  
Alignment Beam Mode Lower power beam for installation and alignment in a tool(IR requires optional AOM)  
Replaceable Output Window Customer replaceable to maintain power in harsh environments  
Data Log(includes customer version as well)9 Long and short term recording for diagnostics and equipment maintenance  
Optional Safety Shutter Externally mounted for easy field service and customer replaceable  
Optional Output AOM Provides power attenuation at constant power, used with trigger, gate and pulse on demand, use as a process shutter NA (Power attenuation by software control. Consult Spectra-Physics)  
Optional TimeShift ps GUI Enables waveform customization  

Footnote
1. Due to our continuous product improvement program, specifications may change without notice.
2. IR specifications are at 400 kHz single pulse with the diode current set to achieve 51 W, unless otherwise noted. IceFyre 355-30 specifications are at 800 kHz
    single pulse with the diode current set to achieve 25.5 W, unless otherwise noted. IceFyre 355-50 specifications are at 1250 kHz single pulse with the diode
    current set to achieve >50 W, unless otherwise noted.
3. IR power shown is without optional AOM.
4. Dimensions noted do not include the removable lift handles.
5. AC to DC converter module included with standard system.
6. Please consult factory for IR operation below 400 kHz without output AOM option.
7. Warm start: AC, chiller and GUI on, all diodes off.
8. High temperature, high humidity operation limited to dew point <19°C; high temperature, high humidity storage limited to dew point <22°C.
9. Customer version: future release.
10. IceFyre is a Class IV – High-Power Laser, whose beam is, by definition, a safety and fire hazard. Take precautions to prevent exposure to direct and 
      reflected beams. Diffuse as well as specular reflections can cause severe skin or eye damage.

 

IceFyre 1064-50 Laser Dimensions

IceFyre 355-30 Laser Dimensions

IceFyre 355-50 Laser Dimensions

Utility Module Dimensions

Data Sheets

IceFyre Data Sheet
IceFyre Component Selection Guide

Application Notes

application notesnew
 高出力UVピコ秒レーザーによるOLED材料加工
application notes
 UVピコ秒レーザーによる高品質フレキシブルプリントサーキット（FPC）加工
application notes
 IceFyre 1064-50ピコ秒レーザーによる高品質、ハイスループットのガラス加工r
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 ピコ秒レーザーとPSOモーション機能による高速、可変速度軌道処理
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 ピコ秒レーザー、IceFyreによるバースト運転時の銅及びステンレス加工の材料除去効率向上
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 ピコ秒レーザー、バースト運転時におけるシリコン加工、材料除去スピードおよび品質の画期的向上
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 100Wフェムト秒レーザーによるプラスチックの高速加工
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 ピコ秒レーザーIceFyreによる透明、脆材料の精密微細機械加工

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