アプリケーション
- LED製造
- ディスプレイ加工
- OLED
- フラットパネルディスプレイリペア
- レーザーマーキング
- ガラス内およびガラス表面のマーキング
- UIDマーキング
- 機能性マーキング
- ウェーハマーキングおよび処理
- レーザーカッティング/穴あけ
- 薄いホイル
- レーザースクライビング
- 薄膜
- PCB製造
- レジスターおよびインダクタンスのトリミング
- 3次元造形 - 3Dプリンティング
- MALDI-TOF質量分析
- レーザーマイクロダイセクション
- UVタイトラー
- LIDAR
仕様
出力特性1,4
| Explorer One 349-60 |
Explorer One 349-120 |
Explorer One 355-1 |
Explorer One HE 355-100 |
Explorer One HE 532-200 |
Explorer One 532-2 |
Explorer One XP 532-5 |
Explorer One XP 355-2 |
Explorer One HP HE 355-200 |
Explorer One HP 355-4 |
Explorer One HP 355-6 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 波長 | 349 nm | 355 nm | 532 nm | 355 nm | 355 nm | ||||||
| レーザー媒体 | Nd:YLF | Nd:YVO4 | Nd:YAG | Nd:YVO4 | Nd:YAG | Nd:YVO4 | |||||
| パルスエネルギー | 60 µJ @ 1 kHz | 120 µJ @ 1 kHz | 25 µJ @ <30 kHz | 80 µJ @ 10 kHz | 180 µJ @ 10 kHz | 40 µJ @ 50 kHz | 63 µJ @ 80 kHz | 25 µJ @ 80 kHz | >200 µJ @ 20 kHz | >50 µJ @ 80 kHz | >60 µJ @ 100 kHz |
| 出力 | 60 mW @ 1 kHz | 120 mW @ 1 kHz | 800 mW @ 50 kHz | 800 mW @ 10 kHz | 1.8 W @ 10 kHz | 2 W @ 50 kHz | 5 W @ 80 kHz | 2 W @ 80 kHz | >4 W @ 20 kHz | >4 W @ 80 kHz | >6 W @ 100 kHz |
| パルス幅 (FWHM) | <5 ns | <10 ns | <15 ns | <12 ns @ 80 kHz | <10 ns @ 80 kHz | <15 ns @ 20 kHz, 4 W | <15 ns @ 80 kHz, 4 W | <12 ns @ 100 kHz, 6 W | |||
| パルスエネルギーノイズ (rms)2 | <3% | <4% | <2% | ||||||||
| 長期安定性 (rms) | <2% | <±2% | <2% | ||||||||
| 繰返し周波数 | シングルショット - 5 kHz | シングルショット - 200 kHz | シングルショット - 60 kHz | シングルショット - 200 kHz | シングルショット - 500 kHz | シングルショット - 200 kHz | シングルショット - 500 kHz | ||||
| ジッター (レーザーパルスからオプトシンクまで) | <±0.5 ns | - | - | ||||||||
ビーム特性2
| Explorer One 349-60 |
Explorer One 349-120 |
Explorer One 355-1 |
Explorer One HE 355-100 |
Explorer One HE 532-200 |
Explorer One 532-2 |
Explorer One XP 532-5 |
Explorer One XP 355-2 |
Explorer One HP HE 355-200 |
Explorer One HP 355-4 |
Explorer One HP 355-6 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 空間モード | M2 <1.3, TEM00 | M2 <1.2, TEM00 | M2 <1.3, TEM00 | M2 <1.3, TEM00 | |||||||
| ビーム径 (ウエスト位置にて) (1/e2) | 0.145 mm ±0.02 |
0.16 ±0.025 mm |
0.19 ±0.035 mm |
0.182 ± 0.037 mm |
0.18 ±0.020 mm |
0.21 ±0.021 mm |
0.18 ±0.027 mm |
0.16 ±0.024 mm |
1.3 ± 0.33 mm |
1.1 ± 0.25 mm |
1.3 ± 0.33 mm |
| ビーム拡がり角 (全角) (1/e2) | 3.2 ± 0.5 mrad | 3.0 ±0.5 mrad | 2.5 ±0.6 mrad | 3.8 ±0.5 mrad | 3.5 ±0.5 mrad | 3.9 ±0.8 mrad | 3.5 ±0.8 mrad | 0.5 ± 0.2 mrad | 0.4 ± 0.2 mrad | ||
| ビーム楕円率2 | 1 ±0.1 | 1 ±0.2 | 1 ±0.1 | ||||||||
| 偏光 | >100:1 (垂直) | >100:1 (水平) | 100:1 (垂直) | >100:1 (垂直) | |||||||
動作条件
| Explorer One 349-60 |
Explorer One 349-120 |
Explorer One 355-1 |
Explorer One HE 355-100 |
Explorer One HE 532-200 |
Explorer One 532-2 |
Explorer One XP 532-5 |
Explorer One XP 355-2 |
Explorer One HP HE 355-200 |
Explorer One HP 355-4 |
Explorer One HP 355-6 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ウォームアップ時間 (コールドスタートから95%以上のフルパワー) |
<10 min | <10 min | |||||||||
| 動作電圧 | 24 VDC ±2 V | 24 VDC ±2 V | |||||||||
| 最大突入電流 | <4 A | <9 A | <10 A | ||||||||
| 最大消費電力 | <75 W | <150 W | <160 W | <200 W | |||||||
| 標準消費電力 | <50 W | <100 W | <120 W | <130 W | |||||||
| レーザーヘッドの放熱 | <75 W | <150 W | <160 W | <200 W | |||||||
動作温度
| Explorer One 349-60 |
Explorer One 349-120 |
Explorer One 355-1 |
Explorer One HE 355-100 |
Explorer One HE 532-200 |
Explorer One 532-2 |
Explorer One XP 532-5 |
Explorer One XP 355-2 |
Explorer One HP HE 355-200 |
Explorer One HP 355-4 |
Explorer One HP 355-6 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| レーザーヘッド底面温度 | 18-40°C (相対湿度<80%; 露点温度<20°C)3 | 18-45°C (相対湿度<80%; 露点温度<20°C)3 | |||||||||
| 保管温度範囲 | -20 ~ +60°C (相対湿度<90%、結露無し) | -20 ~ +60°C (相対湿度<90%、結露無し) | |||||||||
物理的特性
| Explorer One 349-60 |
Explorer One 349-120 |
Explorer One 355-1 |
Explorer One HE 355-100 |
Explorer One HE 532-200 |
Explorer One 532-2 |
Explorer One XP 532-5 |
Explorer One XP 355-2 |
Explorer One HP HE 355-200 |
Explorer One HP 355-4 |
Explorer One HP 355-6 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| レーザーヘッド (L x W x H) | 6.5 x 3.54 x 3 in (165 x 95 x 76.1 mm) |
9.45 x 3.74 x 3.7 in (240 x 95 x 94 mm) |
11.42 x 5.51 x 3.35 in (280 x 130 x 85.1 mm) |
||||||||
| ビーム高さ | 25.4 mm | 24.5 mm | 25.4 mm | 35 mm | 34.1 mm | 43.2 mm | |||||
| レーザーヘッド重量 | 2.87 lb (1.3 kg) | 6.84 lb (3.1 kg) | 9.25 lb (4.2 kg) | ||||||||
スタティックアライメント公差
| Explorer One 349-60 |
Explorer One 349-120 |
Explorer One 355-1 |
Explorer One HE 355-100 |
Explorer One HE 532-200 |
Explorer One 532-2 |
Explorer One XP 532-5 |
Explorer One XP 355-2 |
Explorer One HP HE 355-200 |
Explorer One HP 355-4 |
Explorer One HP 355-6 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ビーム位置 | <±0.25 mm | <±0.3 mm | <±0.5 mm | ||||||||
| ビーム角度 | <±1 mrad | <±1 mrad | |||||||||
ソフトウェアの特長
| Explorer One 349-60 |
Explorer One 349-120 |
Explorer One 355-1 |
Explorer One HE 355-100 |
Explorer One HE 532-200 |
Explorer One 532-2 |
Explorer One XP 532-5 |
Explorer One XP 355-2 |
Explorer One HP HE 355-200 |
Explorer One HP 355-4 |
Explorer One HP 355-6 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ファーストパルス抑制 (FPS) | Yes | Yes | |||||||||
| E-Pulse (定エネルギーモデル) | Yes | Yes | |||||||||
| E-Track (クローズドループエネルギー制御) | Yes5 | Yes5 | Yes | Yes5 | Yes5 | Yes5 | NA | NA | Yes | ||
注釈:
- 製品の継続的改良のため、仕様は予告無しに変更されることがあります
- 出力/エネルギーおよび繰返し周波数の通常値で指定されます (出力/エネルギー仕様を参照)
- ハウジング底面温度
- Explorer Oneは、クラス4 (Class IV) 高出力レーザーであり、定義上そのビームは、危険かつ火災を発生する可能性があります。
直接及び反射ビームの被ばくを防ぐための予防措置を講じてください。拡散反射であっても鏡面反射同様、深刻な皮膚や眼の損傷を引き起こす可能性があります - ご要望に応じてE-Trackをご利用いただけます
機能
概要
Explorer Oneは、同クラスのUVおよびグリーン半導体励起固体レーザー(DPSS)Qスイッチレーザーの中で最もコンパクトなシリーズです。「It's in the Box」デザインは、非常にコンパクトな空冷設計、ショートパルス幅、高いピーク出力、豊富なソフトウェアを1つのパッケージに統合し、使いやすさや取り扱いなどの点において、お客様のニーズにお応えします。高プロセス品質、および短期間で低コストのツールを提供します。
出力に応じて3種類のプラットフォーム
Explorer Oneレーザーモデルは、3つのプラットフォームで使用できます。標準プラットフォームは、最大800mW@355nm、2W@532nm、 高エネルギーモデルは、120μJ@349nm、80μJ@355nm、180μJ@532nmとなっております。拡張出力プラットフォームであるExplorer One XPは2W@355nm、5W超@532nmで利用できます。高出力プラットフォームであるExplorer One HPは、355nmで6Wを超える出力で利用できます。
コンパクトサイズでの高性能と信頼性
Explorer Oneシリーズは、24時間365日のアプリケーションにおいて、長寿命と長期間の安定性を備えた丈夫で耐久性の高い産業用レーザーのラインアップとなっております。熱影響の少ない短パルス幅、比類ないパルス間安定性、優れたビーム品質(M2は通常<1.1)などの優れた性能により、精密製造に最適なツールとなります。非常にコンパクトな「It's in the Box」デザインは、スペースが限られている場合、特に工作機械製造業のお客様へ迅速かつ低コストの統合を可能にする単一パッケージソリューションを提供します。 All-in-Oneコンセプトの非常に小さいサイズと低放熱性により、Explorer Oneシリーズは小型の卓上型機器に最適です。高出力と空冷設計を組み合わせることで、複雑さが軽減され、製品開発サイクルが短縮され、お客様の生産性が高められます。
高度なソフトウェア制御
汎用性と柔軟性は、E-Pulseパルスエネルギー制御、バーストモード、オンデマンド自動較正、最高500 kHzまでの単一パルスエネルギー測定など、高度で付加価値の高いハードウェアとソフトウェア要素を統合することによって実現されます。新しいE-Trackダイナミックパルスエネルギー制御機能は、急速に変化する動作設定点または環境下においても、継続的なエネルギーおよび出力安定化のための測定および制御を行います。E-Trackを使用すると、スクライビング、マーキング、小さな形状のドリリングなど、精密微細加工アプリケーションのスピーディーな調整と高速ゲーティングが可能になります。さらに、Explorer Oneシリーズの出力パワーは、アプリケーションのニーズに合わせてレーザー性能を最適化するように調整可能です。このシステムは、TTLおよびアナログ制御信号を使用して操作することができます。リアルタイムパルスエネルギー値は内蔵アナログポートで利用可能です。
互換性のあるパワーセンサー
Explorer One レーザーのパワーを検証および分析するには、Ophir 3A-PF-12 (7Z02720), 10A (7Z02637) または F80(120)A-CM-17 (7Z07103) サーマル センサーおよび Centauri レーザーパワーメーターをお勧めします。このレーザー測定装置に関する追加情報は、ophiropt.com の Web サイトでご確認いただけます。アプリケーションによっては、他の Ophir センサーとディスプレイも Explorer One に適している場合があります。 また、Ophir はレーザーシステム開発者と協力し、OEM ソリューションとしてシステムパフォーマンスをモニターする組み込み型ビームプロファイリングを可能にしています。
Recommended Optics & Optomechanics
It is critical to choose the right optics and optomechanical components that work best with your Explorer laser. Explorer’s high UV and green output power necessitates optics that have a high damage threshold. MKS Newport offers a wide selection of the highest quality optics and optical components covering the entire spectrum UV, VIS, NIR and IR wavelengths to help you with your most challenging applications.
リソース
Technical Articles
UVレーザーが要求の厳しいマーキング作業に対応(399.8 kB, PDF) ナノ秒からピコ秒、そしてフェムト秒へ:最適なレーザー微細加工を生み出すパルス幅 半導体先端パッケージにおけるレーザー切断の最適化
Application Notes
高エネルギーUVレーザーによる産業用マーキングおよびエングレービング加工(1.8 MB, PDF) ハイスループット生産ラインにおける食品および飲料製品のマーキング(881.3 kB, PDF) パルスUVレーザー Explorer Oneによる工業生産における精密マーキング(511.5 kB, PDF) E-Track: Explorer Oneレーザーのアクティブパルスエネルギー制御(523.4 kB, PDF) Explorerによるレーザーマーキング短波長化(385.2 kB, PDF) ガウシアン形状ビーム VS フラットトップビーム加工(1.3 MB, PDF)
Data Sheets
Explorer Oneデータシート(2.5 MB, PDF)
Selection Guides
Explorer One 周辺デバイス セレクションガイド(916.2 kB, PDF)
Drawings & CAD
Explorer One寸法(383.3 kB, PDF) Explorer-One XP寸法(2.2 MB, PDF)
Software
Literature
ペロブスカイト太陽電池の製造を加速(7 MB, PDF)




