太陽電池製造

レーザーは、パシベーション層を開口させてオーミックコンタクト（電気的接合部）を形成するために使用されます。この表層部にスクリーン印刷されたアルミニウムペーストが、その後の熱アニーリングプロセスにより、レーザー照射されたシリコン部分と局所的に合金化され、良好なオーミックコンタクトが形成されます。典型的な6インチの PERC セルには、156mmより長く、幅40〜50 µmで、1 mm離れた約155本のレーザースクライブラインがあります。1枚のウェーハ上のPERCスクライブの全長は約 25 m です。目標の処理時間は、ウェーハあたり1秒程度で、これは 25 m/s のスクライビング速度を要求します。ポリゴンスキャナー同様に高速の2軸ガルボスキャナーは、このような速度を実現できます。太陽電池製造に関する追加情報については、Newport.com をご参照ください。

UVレーザーで実現可能な精密マイクロマシニングにより、より多くの回路を1つのパネルに収めることができ、正味の使用可能面積が増加します。 さらに、銅からポリイミドフィルムまで、PCB内のさまざまな材料はUV波長に吸収されるため、そのフレキシビリティにより、それらの材料とプロセスを一つで解決できます。例えば、より狭い焦点のUVで達成可能な高いビーム強度は銅を除去できますが、レーザー出力を下げることによって達成される低いビーム強度は、下部の銅層に損傷を与えることなく誘電体材料を切断できます。 詳細については、高出力ナノ秒パルスレーザーによる産業用PERC太陽電池加工をご参照ください。 太陽電池製造メーカーは太陽電池の効率を高め、製造コストを削減することに注力していますが、その多くはCIGS TF太陽電池技術に関心を示しています。CIGS 太陽電池では、ガラス基板上に堆積された金属モリブデンTFがバックコンタクトとして使用されます。通常、IRまたは GREENのDPSS Qスイッチレーザーが、モリブデン薄膜上の電気的絶縁スクライブプロセスに使用されます。詳細については、CIGS TFPV太陽電池のモリブデンスクライビングをご参照ください。