アプリケーション

仕様

出力特性

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
波長 355 nm 532 nm 1064 nm
出力2, 3 >50 W @ 1250 kHZ >30 W (典型値) @ 500 kHz
>25 W @ 800 kHz
>20 W (典型値) @ 1 MHz		 >50 W @ 500 kHZ >50 W @ 400 kHZ
最大パルスエネルギー典型値
(TimeShift psでは1バーストあたりのパルスエネルギーが大きくなる)		 >40 µJ @ 1250 kHz >60 µJ (典型値) @ 500 kHz
>31 µJ @ 800 kHz
>20 µJ (典型値) @ 1 MHz		 >100 µJ @ 500 kHz >200 µJ @ 200 kHz
繰返し周波数6 シングルショット - 10 MHz
パルス幅 (FWHM)2 <12 ps (10 ps 典型値) <15 ps (13ps 典型値)
TimeShift ps yes
パルスエネルギー安定性2 <2.0%、 1 σ <1.5%、 1 σ
出力安定性 (ウォームアップ後)2 <1%, 1 σ、8時間以上

ビーム特性

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
空間モード2 TEM00, M2 <1.3
偏光 >100:1 (垂直) >100:1 (水平) >100:1 (垂直)
ビーム径 (D4σ)2 5.0 ±0.5 mm 3.5 ±0.35 mm 3.0 ±0.3 mm
ビーム拡がり角 (全角)2 <0.20 mrad <0.75 mrad
ビーム非対称性2 <1.10 (≥90% 真円度)
ボアサイト公差2 ±0.5 mm、 ±5 mrad
ビーム位置安定性2 <±25 µrad/°C

動作条件8

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
ウォームアップ時間 (典型値) ウォームスタートモードから45分以内、コールドスタートから60分以内7 スタートモードから15分以内、コールドスタートから 40分以内7
温度範囲 15-30°C
高度 0-2,000 m
湿度7 0-90% 結露無し、露点 <19°C

保管条件8

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
温度範囲 0-50°C
高度 0-10,000 m
湿度7 0-90% 結露無し、露点 <22°C

電力、チラー要件7

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50

水温 (レーザー入射口)

 20 ±1°C、± 0.5°Cまで安定
水流量 (レーザーヘッド) 1.8 GPM 典型値 (6.8 LPM)
AC入力 AC>200 V (180-260V)、最大2000 W、50/60 Hz、単相 AC100-240 V、最大1000 W、50/60 Hz、単相
熱負荷 (レーザーヘッド) <1600 W <800 W (600 W 典型値)
熱負荷 (電源) <300 W <200 W
総消費電力量 <2000 W <1000 W

物理的特性5

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
レーザー寸法
(L x W x H)4		 42.14 x 19.88 x 7.63 in
(1070.4 x 504.8 x 193.06 mm)		 35.00 x 12.13 x 7.63 in
(889.0 x 308.0 x 193.8 mm)		 29.50 x 12.13 x 7.50 in
(749.5 x 308.0 x 190.6 mm)
レーザー重量 215 lbs (97.5 kg) 108 lbs (49 kg) 95 lbs (43 kg)
寸法 (ユーティリティモジュール)
(L x W x H)		 21.16 x 18.02 x 1.58 in (537.5 x 457.7 x 40.1 mm)
重量 (ユーティリティモジュール) 24.70 lbs (11.20 kg) 22.80 lbs (10.34 kg) 15.00 lbs (6.80 kg)

特長

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
EU RoHS 2 準拠、中国 RoHS 2準拠、CE準拠 有害物質制限対応製品
内蔵パワーモニター 外部パワーメーターに対して校正可能
アライメントビームモード ツールへの取り付けと位置合わせのための低出力ビーム (IRにはオプションのAOMが必要)
交換可能なアウトプットウインドウ 過酷な環境でもパワーを維持するためにお客様による交換が可能
データログ (カスタマーバージョンも含む)9 診断や機器のメンテナンスのための長期および短期の記録
安全シャッター (オプション) 外部取り付けによりフィールドサービスが容易、お客様による交換も可能
出力AOM (オプション) NA (ソフトウェア制御によるパワー減衰) 一定パワーでパワーを減衰、トリガー、ゲート、パルスオンデマンドで使用、プロセスシャッターとして使用
TimeShift ps GUI (オプション) ウェーブフォームカスタマイズが可能

注釈:

  1. 製品の継続的改良のため、仕様は予告無しに変更されることがあります
  2. IRの仕様は、特に記載のない限り、400kHzにてシングルパルスで51W出力時のLD電流値でのものです。IceFyre UV30の仕様は、特に記載のない限り、800kHzにてシングルパルスで25.5W出力時のLD電流値でのものです。IceFyre UV50の仕様は、特に記載のない限り、1250kHzにてシングルパルスで>50W出力時のLD電流値でのものです。IceFyre GR50の仕様は、特に記載のない限り、500kHzにてシングルパルスで>50W出力時のLD電流値でのものです
  3. IRの出力は、オプションのAOM無しの場合です
  4. 記載されている寸法には、取り外し可能なリフトハンドルは含まれておりません
  5. AC/DCコンバータモジュールは標準システムに付属しています
  6. 出力AOMオプションなしの400kHz未満のIR動作については、お問い合わせください
  7. ウォームスタート: AC、チラー、GUIがオン、すべてのダイオードがオフ
  8. 高温多湿での動作は、露点<19°Cに制限されます。高温多湿の保管は露点<22°Cに制限してください
  9. IceFyreは、クラス4 (Class IV) 高出力レーザーであり、定義上そのビームは、危険かつ火災を発生する可能性があります。
    直接及び反射ビームの被ばくを防ぐための予防措置を講じてください。拡散反射であっても鏡面反射同様、深刻な皮膚や眼の損傷を引き起こす可能性があります

機能

概要

IceFyre®はマイクロマシンニング用ピコ秒レーザーとして特許出願中の新技術を採用。卓越したパーフォーマンス、かつ先例のないコストパーフォーマンスを実現。「It’s in the Box」コンセプトを用いたレーザーと電源を一体化し、業界で最もコンパクトな産業用ピコ秒レーザーです。

先例の無い柔軟性かつ卓越したパフォーマンス

IceFyre UV50は、市場で最も高性能なピコ秒UVレーザーであり、バーストモードにおいて100μJのパルスエネルギーと10psのパルス幅で、1.25MHz (>40μJ)で >50WのUV出力を提供します。IceFyre UV50はその高出力とシングルショットから10MHzまでの繰返し周波数の新しいスタンダードを提供します。IceFyre UV30は、60μJを超えるパルスエネルギー(バーストモードではより大きなパルスエネルギー)で、30Wを超えるUV出力を提供し、シングルショットから10MHzまでの優れた性能を提供します。IceFyre GR50は、500kHzで100µJを超えるパルスエネルギー、50Wを超えるグリーン出力を提供します。IceFyre IR50 は、400kHzシングルパルスで50Wを超えるIR出力を提供し、シングルショットから10MHzまでの優れた性能を提供します。

IceFyreのユニークなデザインは、ファイバーレーザーの柔軟性とSpectra-Physics独自のパワーアンプ機能を利用し、TimeShift psプログラマブルバーストモード技術を実現しており、業界で最も高い汎用性と広い運用範囲を実現しています。各レーザーには標準の波形セットが用意されています。オプションの TimeShift ps GUI により、カスタム波形の作成が可能です。このレーザ―デザインにより、ポリゴンスキャナを使用している場合などで、既存のピコ秒レーザーの中で最も低いタイミングジッターで真のパルスオンデマンド (POD) および位置同期レーザー出力 (PSO) を可能にし、高速走査速度での高品質処理を可能にします。

24/7 運転を可能にする信頼性

MKS の深い経験と技術に基づいて構築された特許出願中のIceFyre FSレーザーは、厳しい環境認定テストをクリアし、高い信頼性と低い維持コストを実現します。完全に自動化され、コンピューター制御されたレーザーは、24/7運転においても出力、ビームパラメーター、およびビームポインティングにおいて並外れた安定性を示し、要求の厳しいアプリケーションに高精度と再現性を提供します。

適応パワーセンサー

IceFyre レーザーのパワーを検証および分析するには、Ophir F80(120)A-CM-17  (7Z07103) サーマル センサーおよび Centauri レーザーパワーメーターをお勧めします。このレーザー測定装置に関する追加情報は、ophiropt.com の Web サイトでご確認いただけます。アプリケーションによっては、他の Ophir センサーとディスプレイも IceFyre に適している場合があります。 また、 Ophir はレーザーシステム開発者と協力し、OEM ソリューションとしてシステムパフォーマンスをモニターする組み込み型ビームプロファイリングを可能にしています。

Recommended Optics & Optomechanics

It is critical to choose the right optics and optomechanical components that work best with your IceFyre laser. IceFyre’s high IR peak power necessitates optics that have a high damage threshold. MKS Newport offers a wide selection of the highest quality optics and optical components covering the entire spectrum UV, VIS, NIR and IR wavelengths to help you with your most challenging applications.

リソース

Technical Articles

Data Sheets

Selection Guides

Drawings & CAD

Application Notes

Literature