アプリケーション

仕様

出力特性1, 2

IceFyre FS UV50 IceFyre FS IR200
波長 343 ±2 nm 1030 ± 6 nm
出力 >50 W @ 1 MHz、1.25 MHz >200 W @ 1-50 MHz
最大パルスエネルギー >50 μJ @ 1 MHz >200 µJ @ 1 MHz
繰返し周波数 シングルショット - 3 MHz シングルショット - 50 MHz
パルス幅 (FWHM) <500 fs
パルスエネルギー安定性 <2% rms
出力安定性 (ウォームアップ後) <1% rms、8時間以上
空間モード TEM00 (M2 <1.3)
偏光 >100:1 (垂直)
ビーム径 (出射口にて) 5.0 ±0.5 mm 4.0 ±0.5 mm
ビーム拡がり角 (全角) <0.20 mrad <1.0 mrad
ビーム位置安定性 <±25 µrad/°C
PSO機能 (位置同期出力) Yes
パルスオンデマンドトリガー (内部および外部) Yes
TimeShiftプログラマブルバーストモード Yes

動作条件3

IceFyre FS UV50 IceFyre FS IR200
ウォームアップ時間 (典型値) ウォームスタートから30分未満、コールドスタートから60分未満
温度範囲 18-35°C
高度 0-2,000 m
相対湿度 0-65% 結露無し、露点<19°C

保管条件3

IceFyre FS UV50 IceFyre FS IR200
温度範囲 0-50°C
高度 0-2,000 m
相対湿度 0-90% 結露無し、露点<22°C

物理的特性4

IceFyre FS UV50 IceFyre FS IR200
レーザー寸法 (L x W x H)5 35.67 x 17.05 x 6.89 in (906 x 433 x 175 mm)
レーザー重量 150 lbs (68 kg)
ユーティリティモジュール寸法 (L x W x H) 17.99 x 18.98 x 3.96 in (457.1 x 482.1 x 100.7 mm)
ユーティリティモジュール重量 24.25 lbs (11 kg)

特長

IceFyre FS UV50 IceFyre FS IR200
EU RoHS 2準拠、 中国 RoHS 2準拠、CE準拠 有害物質規制適合製品
内蔵パワーモニター Yes
交換可能なアウトプットウインドウ Yes
安全シャッター (オプション) 外付け
交換可能なアクティブレーザーパージシステム (ALPS) Yes
交換可能なヘッド乾燥剤 Yes
データログ 診断および機器メンテナンスのための長期および短期の記録

注釈:

  1. 製品の継続的改良のため、仕様は予告無しに変更されることがあります
  2. . IceFyre FSは、クラス4 (Class IV) 高出力レーザーであり、定義上そのビームは、危険かつ火災を発生する可能性があります。
    直接及び反射ビームの被ばくを防ぐための予防措置を講じてください。拡散反射であっても鏡面反射同様、深刻な皮膚や眼の損傷を引き起こす可能性があります
  3. 高温多湿での動作は露点<19°Cに制限されます。高温多湿での保管は露点<22°Cに制限されます
  4. AC/DCコンバータモジュールは標準システムに付属しています
  5. 記載されている寸法には、取り外し可能なリフトハンドルは含まれておりません

機能

24/7 運転を可能にする信頼性

MKS の深い経験と技術に基づいて構築された特許出願中のIceFyre FSレーザーは、厳しい環境認定テストをクリアし、高い信頼性と低い維持コストを実現します。完全に自動化され、コンピューター制御されたレーザーは、24/7運転においても出力、ビームパラメーター、およびビームポインティングにおいて並外れた安定性を示し、要求の厳しいアプリケーションに高精度と再現性を提供します。

適応パワーセンサー

IceFyre  FS レーザーのパワーを検証および分析するには、Ophir F150(200)A-CM-16 (7Z07107) サーマル センサーおよび Centauri レーザーパワーメーターをお勧めします。このレーザー測定装置に関する追加情報は、ophiropt.com の Web サイトでご確認いただけます。アプリケーションによっては、他の Ophir センサーとディスプレイも IceFyre FS に適している場合があります。 また、Ophir はレーザーシステム開発者と協力し、OEM ソリューションとしてシステムパフォーマンスをモニターする組み込み型ビームプロファイリングを可能にしています。

概要

IceFyre FSファミリーは、フェムト秒レーザー技術の飛躍的な進歩であり、業界をリードするパフォーマンス、汎用性、信頼性、所有コストを実現します。IceFyre FSフェムト秒レーザーは、要求の厳しい家庭用電化製品、クリーンエネルギー、医療用デバイス、および産業用アプリケーションに使われるポリマー、金属、半導体、薄膜、複合材料などの難加工材料において高スループットかつ極めて高い品質を要求される微細加工に最適です。Spectra-Physics の It’s in the Box 設計に基づいた IceFyre FSは、レーザーとコントロールエレクトロニクス部分を一体化し簡便にインストールできるパッケージとなっています。

最適なプロセスパフォーマンスのための卓越した汎用性

IceFyre FSは、市場で最高のパフォーマンスを発揮するUVフェムト秒レーザーであり、50Wを超えるUV出力、50µJを超えるパルスエネルギー、<500 fsのIR出力、高パルスエネルギー (>200µJ)を提供し、シングルショットからIRの50MHzまでの幅広い繰返し周波数を提供します。
高い平均出力(>200W)と高いパルスエネルギー(>200µJ)を最大50MHzの高繰返し率と組み合わせることで、フェムト秒微細加工アプリケーションは最小の維持コストで最高レベルのスループットを実現します。

IceFyre FSプラットフォームは、調整可能な繰返し周波数、パルスオンデマンド (POD) および位置同期出力 (PSO) トリガリング、および柔軟なバーストモード操作のための TimeShift プログラム可能なパルス機能により、最適なプロセスパフォーマンスのための卓越した汎用性を提供します 。

リソース

Technical Articles

Application Notes

Data Sheets