アプリケーション
仕様
出力特性1, 2
| IceFyre FS UV50 | IceFyre FS IR200 | |
|---|---|---|
| 波長 | 343 ±2 nm | 1030 ± 6 nm |
| 出力 | >50 W @ 1 MHz、1.25 MHz | >200 W @ 1-50 MHz |
| 最大パルスエネルギー | >50 μJ @ 1 MHz | >200 µJ @ 1 MHz |
| 繰返し周波数 | シングルショット - 3 MHz | シングルショット - 50 MHz |
| パルス幅 (FWHM) | <500 fs | |
| パルスエネルギー安定性 | <2% rms | |
| 出力安定性 (ウォームアップ後) | <1% rms、8時間以上 | |
| 空間モード | TEM00 (M2 <1.3) | |
| 偏光 | >100:1 (垂直) | |
| ビーム径 (出射口にて) | 5.0 ±0.5 mm | 4.0 ±0.5 mm |
| ビーム拡がり角 (全角) | <0.20 mrad | <1.0 mrad |
| ビーム位置安定性 | <±25 µrad/°C | |
| PSO機能 (位置同期出力) | Yes | |
| パルスオンデマンドトリガー (内部および外部) | Yes | |
| TimeShiftプログラマブルバーストモード | Yes | |
動作条件3
| IceFyre FS UV50 | IceFyre FS IR200 | |
|---|---|---|
| ウォームアップ時間 (典型値) | ウォームスタートから30分未満、コールドスタートから60分未満 | |
| 温度範囲 | 18-35°C | |
| 高度 | 0-2,000 m | |
| 相対湿度 | 0-65% 結露無し、露点<19°C | |
保管条件3
| IceFyre FS UV50 | IceFyre FS IR200 | |
|---|---|---|
| 温度範囲 | 0-50°C | |
| 高度 | 0-2,000 m | |
| 相対湿度 | 0-90% 結露無し、露点<22°C | |
物理的特性4
| IceFyre FS UV50 | IceFyre FS IR200 | |
|---|---|---|
| レーザー寸法 (L x W x H)5 | 35.67 x 17.05 x 6.89 in (906 x 433 x 175 mm) | |
| レーザー重量 | 150 lbs (68 kg) | |
| ユーティリティモジュール寸法 (L x W x H) | 17.99 x 18.98 x 3.96 in (457.1 x 482.1 x 100.7 mm) | |
| ユーティリティモジュール重量 | 24.25 lbs (11 kg) | |
特長
| IceFyre FS UV50 | IceFyre FS IR200 | |
|---|---|---|
| EU RoHS 2準拠、 中国 RoHS 2準拠、CE準拠 | 有害物質規制適合製品 | |
| 内蔵パワーモニター | Yes | |
| 交換可能なアウトプットウインドウ | Yes | |
| 安全シャッター (オプション) | 外付け | |
| 交換可能なアクティブレーザーパージシステム (ALPS) | Yes | |
| 交換可能なヘッド乾燥剤 | Yes | |
| データログ | 診断および機器メンテナンスのための長期および短期の記録 | |
注釈:
- 製品の継続的改良のため、仕様は予告無しに変更されることがあります
- . IceFyre FSは、クラス4 (Class IV) 高出力レーザーであり、定義上そのビームは、危険かつ火災を発生する可能性があります。
直接及び反射ビームの被ばくを防ぐための予防措置を講じてください。拡散反射であっても鏡面反射同様、深刻な皮膚や眼の損傷を引き起こす可能性があります - 高温多湿での動作は露点<19°Cに制限されます。高温多湿での保管は露点<22°Cに制限されます
- AC/DCコンバータモジュールは標準システムに付属しています
- 記載されている寸法には、取り外し可能なリフトハンドルは含まれておりません
機能
24/7 運転を可能にする信頼性
MKS の深い経験と技術に基づいて構築された特許出願中のIceFyre FSレーザーは、厳しい環境認定テストをクリアし、高い信頼性と低い維持コストを実現します。完全に自動化され、コンピューター制御されたレーザーは、24/7運転においても出力、ビームパラメーター、およびビームポインティングにおいて並外れた安定性を示し、要求の厳しいアプリケーションに高精度と再現性を提供します。
適応パワーセンサー
IceFyre FS レーザーのパワーを検証および分析するには、Ophir F150(200)A-CM-16 (7Z07107) サーマル センサーおよび Centauri レーザーパワーメーターをお勧めします。このレーザー測定装置に関する追加情報は、ophiropt.com の Web サイトでご確認いただけます。アプリケーションによっては、他の Ophir センサーとディスプレイも IceFyre FS に適している場合があります。 また、Ophir はレーザーシステム開発者と協力し、OEM ソリューションとしてシステムパフォーマンスをモニターする組み込み型ビームプロファイリングを可能にしています。
概要
IceFyre FSファミリーは、フェムト秒レーザー技術の飛躍的な進歩であり、業界をリードするパフォーマンス、汎用性、信頼性、所有コストを実現します。IceFyre FSフェムト秒レーザーは、要求の厳しい家庭用電化製品、クリーンエネルギー、医療用デバイス、および産業用アプリケーションに使われるポリマー、金属、半導体、薄膜、複合材料などの難加工材料において高スループットかつ極めて高い品質を要求される微細加工に最適です。Spectra-Physics の It’s in the Box 設計に基づいた IceFyre FSは、レーザーとコントロールエレクトロニクス部分を一体化し簡便にインストールできるパッケージとなっています。
最適なプロセスパフォーマンスのための卓越した汎用性
IceFyre FSは、市場で最高のパフォーマンスを発揮するUVフェムト秒レーザーであり、50Wを超えるUV出力、50µJを超えるパルスエネルギー、<500 fsのIR出力、高パルスエネルギー (>200µJ)を提供し、シングルショットからIRの50MHzまでの幅広い繰返し周波数を提供します。
高い平均出力(>200W)と高いパルスエネルギー(>200µJ)を最大50MHzの高繰返し率と組み合わせることで、フェムト秒微細加工アプリケーションは最小の維持コストで最高レベルのスループットを実現します。
IceFyre FSプラットフォームは、調整可能な繰返し周波数、パルスオンデマンド (POD) および位置同期出力 (PSO) トリガリング、および柔軟なバーストモード操作のための TimeShift プログラム可能なパルス機能により、最適なプロセスパフォーマンスのための卓越した汎用性を提供します 。
リソース
Technical Articles
Lasers Illuminate the Roadmap for Advanced Packaging(1.6 MB, PDF) 持続可能なクリーンエネルギーの未来を切り拓くレーザー技術 半導体先端パッケージにおけるレーザー切断の最適化 リチウムイオン電池箔のレーザー切断プロセスの最適化 超短パルスレーザーによるニチノール微細加工の最適化 USPレーザー設定がEV生産におけるアプリケーションを推進する方法 フェムト秒レーザーの最適化による優れた品質の実現(1.8 MB, PDF) 産業用フェムト秒レーザーの進歩が次世代アプリケーションを促進 超短パルスレーザーによるフレキシブル OLED ディスプレイ用透明ポリイミドとハードコートフィルムスタックの切断(517.5 kB, PDF) 精密加工の可能性を拡げる超短パルスレーザー(1,008.9 kB, PDF) 超短パルスレーザーによるガラスマイクロ溶接 量産製造現場を変貌させるピコ秒レーザー ハイブリッドファイバーレーザーによる微細加工への新たな可能性の創造 超短パルスレーザー技術による先端エレクトロニクス材料加工(616.4 kB, PDF) ハイブリッドファイバーレーザーによる精密微細加工の高水準化(288.1 kB, PDF) ナノ秒からピコ秒、そしてフェムト秒へ:最適なレーザー微細加工を生み出すパルス幅 Femtosecond Lasers Enable Innovative Surfaces for Controlling Water Femtosecond Lasers Enable Innovative Surfaces for Controlling Water
Application Notes
ICEFYRE® FS IR200 フェムト秒レーザーによるバーストモードでのPCDアブレーション効率化(1.7 MB, PDF) UVナノ秒レーザーとIRフェムト秒レーザーを用いたシリコンカーバイドのアブレーション効率の比較(2.2 MB, PDF) TOPCon太陽電池の持続可能性を高めるLCO (リチウムコバルト酸化物) とメッキ技術(2.5 MB, PDF) 高出力フェムト秒レーザーによるリチウムイオン電池電極の高速切断(1.8 MB, PDF) フェムト秒パルスとPSOテクノロジー(位置同期出力技術)のコンビネーションが優れた品質と高スループットを実現(2.2 MB, PDF) UVフェムト秒レーザーによる有機ELスマートフォンディスプレイの切断(2 MB, PDF) 高出力フェムト秒UVレーザーによる薄膜ポリマー高品質切断(1.2 MB, PDF)
Data Sheets
IceFyre-FS-Datasheet(1.2 MB, PDF)
Literature
ペロブスカイト太陽電池の製造を加速(7 MB, PDF) リチウムイオン電池製造の変革(7.8 MB, PDF) 変革するOLEDパネル加工(6.4 MB, PDF)
Drawings & CAD
IceFyre FS サイズ(694.5 kB, PDF)



