应用

规格

输出特性

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
波长 355 nm 532 nm 1064 nm
功率2, 3 >50 W @ 1250 kHZ >30 W 典型值 @ 500 kHz
>25 W @ 800 kHz
>20 W 典型值 @ 1 MHz		 >50 W @ 500 kHZ >50 W @ 400 kHZ
最大脉冲能量, 典型值
(TimeShift ps 可实现更高的每突发脉冲能量)		 >40 µJ @ 1250 kHz >60 µJ 典型值 @ 500 kHz
>31 µJ @ 800 kHz
>20µJ 典型值 @ 1 MHz		 >100 µJ 单脉冲 @ 500 kHz >200 µJ 单脉冲 @ 200 kHz
重复频率范围6 单脉冲 至 10 MHz
P脉冲宽度, FWHM2 <12 ps (10 ps 典型值) <15 ps (13 典型值)
TimeShift ps 是
脉冲对脉冲能量稳定性2 <2.0% rms, 1 σ <1.5% rms, 1 σ
功率稳定性（预热后）2 <1%, 1 σ, 超过 8 小时

光束特性

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
空间模式2 TEM00, M2 <1.3
偏振 >100:1 垂直 >100:1 水平的 >100:1 垂直
光束直径 (D4σ)2 5.0 ±0.5 mm 3.5 ±0.35 mm 3.0 ±0.3 mm
发散角，全圆角2 <0.20 mrad <0.75 mrad
光束不对称性2 <1.10 (≥90% 圆形度)
孔径公差2 ±0.5 mm, ±5 mrad
光束指向稳定性2 <±25 µrad/°C

工作条件8

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
预热时间, 典型值 <45 min 从热启动模式,<60 min 从冷启动7 <15 min 从热启动模式, <40 min 从冷启动7
温度范围 15-30°C
海拔 0-2,000 m
湿度7 0-90% 非冷凝, 结露点 <19°C

储存条件8

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
温度范围 0-50°C
海拔 0-10,000 m
湿度7 0-90% 非冷凝, 结露点 <22°C

供电和冷却要求7

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
水温（激光器入口） 20 ±1°C, 稳定至 ±0.5°C
水流量（在激光头部） 1.8 GPM 典型值 (6.8 LPM)
交流输入 200 VAC (180-260), 2000 W 最大值, 50/60 Hz, 单相 100-240 VAC, 1000 W 最大值, 50/60 Hz, 单相
热负载（在激光头部） <1600 W <800 W (600 W 典型值)
热负载（电源处） <300 W <200 W
总功率消耗 <2000 W <1000 W

物理特性5

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
激光尺寸
(长 x 宽 x 高)4		 42.14 x 19.88 x 7.63 in
(1070.4 x 504.8 x 193.06 mm)		 35.00 x 12.13 x 7.63 in
(889.0 x 308.0 x 193.8 mm)		 29.50 x 12.13 x 7.50 in
(749.5 x 308.0 x 190.6 mm)
激光重量 215 磅 (97.5 kg) 108 磅 (49 kg) 95 磅 (43 kg)
尺寸 (实用模块)
(长 x 宽 x 高)		 21.16 x 18.02 x 1.58 in (537.5 x 457.7 x 40.1 mm)
重量 (实用模块) 24.70 磅 (11.20 kg) 22.80 磅 (10.34 kg) 15.00 磅 (6.80 kg)

特征

IceFyre UV50 IceFyre UV30 IceFyre GR50 IceFyre IR50
符合 EU RoHS 2，中国 RoHS 2，CE 标准 产品符合有害物质限制
内部功率监控 可使用外部功率计进行校准
连续光模式，用于准直调校 用于工具中安装与校准的低功率红外光束（需选配 AOM）
可更換的輸出窗口 客户可自行更换，以便在严苛环境中保持功率
数据记录（也包括客户版本)9 诊断与设备维护的长短期记录
可选安全快门 外部安装，便于现场维修或客户自行更换
可选 AOM 输出 不适用（通过软件控制进行功率衰减。请参阅Spectra-Physics） 提供恒定功率的功率衰减，与触发器、光栅和按需脉冲搭配使用，用作工艺光闸
可选 TimeShift ps GUI 提供波形定制功能

注释：

  1. 由于我们的产品优化计划是连续性的，规格如有变更，恕不另行通知。
  2. IR 规格为 400 kHz 单脉冲，二极管电流设置为 51 W，除非另有说明。除非另有说明，否则 IceFyre 355-30 规格为 800 kHz 单脉冲，二极管电流设置为 25.5 W。 IceFyre 355-50 规格为 1250 kHz 单脉冲，二极管电流设置为 >50 W，除非另有说明。
  3. 所示红外功率不含选配的 AOM。
  4. 标注尺寸不包括可拆卸提升手柄。
  5. 标准系统随附交流到直流转换器。
  6. 有关不含输出 AOM 选配件的 400 kHz 以下的红外操作，请咨询厂方。
  7. 热启动： AC、冷却装置和 GUI 开启，所有二极管关闭。
  8. 高温高湿运行限于露点 <19°C；高温高室储存限于露点 <22°C。
  9. IceFyre 为 IV 级高功率激光器，根据定义，其光束存在安全和火灾危险。请采取预防措施，避免接触到直射或反射光束。漫反射和镜面反射亦可造成严重的皮肤或眼损伤。

功能

概述

IceFyre® 采用正在申请专利的设计重新定义皮秒微加工激光器，以领先的性价比实现卓越的性能和优异的多功能性。基于Spectra-Physics 的 It’s in the Box 设计 IceFyre 将激光器和控制器集成到极其小的封装中。

卓越的性能和多功能性

IceFyre 355-50 是市面上表现极佳的紫外皮秒激光器，在 1.25 MHz (>40 μJ) 时提供 >50 W 的紫外输出功率，脉冲串模式下的脉冲能量为 100 μJ，脉冲宽度为 10 ps。 IceFyre 355-50 设定了从单次激发到 10 MHz 的功率和重复率的新标准。 IceFyre 355-30 提供 >30W 的典型紫外输出功率，脉冲能量 >60 µJ（脉冲串模式下脉冲能量更大），并提供从单次激发到 3 MHz 的优异性能。 IceFyre 1064-50 在 400 kHz 单脉冲时提供 >50 W 的红外输出功率，并提供从单次激发到 10 MHz 的优异性能。 IceFyre 的独特设计利用光纤激光器的灵活性和 Spectra-Physics 独有的功率放大器能力，实现 TimeShift™ ps 可编程脉冲串模式技术，实现业内极其高的多功能性和极其广泛的应用范围。 每台激光器均配备一组标准波形；可选的 TimeShift ps GUI 可用于创建自定义波形。 该激光器的设计可为高扫描速度的优质加工（例如使用多面扫描镜）实现同类激光器中时间抖动极其低的按需脉冲 (POD) 和位置同步输出 (PSO) 触发功能。

24/7 工业可靠性

正在申请专利的 IceFyre FS 激光器以MKS丰富的经验和技术为基础，通过了广泛的环境性能测试，以确保高可靠性和低拥有成本。该激光器采用全自动和计算机控制，在 24/7 运行期间在功率、光束参数和光束指向方面表现出优异的稳定性，可为要求苛刻的应用提供高精度和可重复性。

兼容的功率传感器

要验证和分析 IceFyre 激光器的输出功率，我们推荐使用 Ophir F80(120)A-CM-17 (7Z07103)  热功率传感器和 Centauri 激光功率计。 有关此激光测量设备的更多信息，请访问 ophiropt.com 网站。 其他 Ophir 传感器和仪表也可能适用于 IceFyre，详细情况取决于具体应用。 Ophir 还与激光系统开发人员合作，实现嵌入式光束诊断，提供了监控系统性能的 OEM 解决方案。

推荐的光学器件和光机组件

选择最适合您的 IceFyre 激光器的正确光学器件和光机组件 至关重要。IceFyre 的高红外峰值功率需要具有高损伤阈值的光学器件。MKS Newport 提供多种最高质量的光学器件和光学元件，涵盖整个光谱紫外、可见光、近红外和红外波长，以帮助您应对最具挑战性的应用。

资源

技术文献

数据表

选择指南

图纸和CAD

应用说明

资料