突破性的紫外和红外高功率飞秒激光器用于关键材料24/7微加工的激光器
- 高达 >50 W 的紫外光和 >200 W 的红外光
- 超短飞秒脉冲可实现高质量的微加工
- TimeShift可编程脉冲串模式功能可实现高生产效率
- 宽重复率范围
- POD 和 PSO 触发可实现精确脉冲控制
- 24/7工业可靠性 查看所有功能
应用
规格
输出特性1, 2
| IceFyre FS UV50 | IceFyre FS IR200 | |
|---|---|---|
| 波长 | 343 ±2 nm | 1030 ± 6 nm |
| 功率 | >50 W @ 1 MHz和1.25 MHz | >200 W @ 1-50 MHz |
| 最大脉冲能量 | >50 μJ @ 1 MHz | >200 μJ @ 1 MHz |
| 重复频率范围 | 单脉冲到 3 MHz | 单脉冲到 50 MHz |
| 脉冲宽度,FWHM | <500 fs | |
| 脉冲间能量稳定性 | <2% rms | |
| 功率稳定性(预热后) | 8 小时 <1% rms | |
| 空间模式 | TEM00, (M2 <1.3) | |
| 偏振 | >100:1 垂直 | |
| 出射光束直径 | 5.0 ±0.5 mm | 4.0 ±0.5 mm |
| 光束发散角,全角 | <0.20 mrad | <1.0 mrad |
| 光束指向稳定性 | <±25 µrad/°C | |
| PSO 功能(位置同步输出) | 是 | |
| 按需脉冲出发(内部和外部) | 是 | |
| TimeShift 可编程脉冲串模式 | 是 | |
运行条件3
| IceFyre FS UV50 | IceFyre FS IR200 | |
|---|---|---|
| 预热时间,典型值 | 从热启动模式开始<30分钟,从冷启动模式开始<60分钟 | |
| 温度范围 | 18 至 35°C | |
| 海拔 | 0-2,000 m | |
| 相对湿度,无结露 | 0–65%非冷凝,结露点<19°C | |
非工作储存条件3
| IceFyre FS UV50 | IceFyre FS IR200 | |
|---|---|---|
| 温度范围 | 0-50°C | |
| 海拔 | 0-2,000 m | |
| 相对湿度,无结露 | 0–90%非冷凝,结露点<22°C | |
物理特性4
| IceFyre FS UV50 | IceFyre FS IR200 | |
|---|---|---|
| 尺寸(激光器)(长 x 宽 x 高)5 | 35.67 x 17.05 x 6.89 英寸 (906 x 433 x 175 mm) | |
| 重量(激光器) | 150 磅(68 千克) | |
| 尺寸(公用模块)(长 x 宽 x 高) | 17.99 x 18.98 x 3.96 英寸 (457.1 x 482.1 x 100.7 mm) | |
| 重量(公用模块) | 24.25 磅 (11 千克) | |
特征
| IceFyre FS UV50 | IceFyre FS IR200 | |
|---|---|---|
| 符合欧盟 RoHS 2、中国 RoHS 2 和 CE 标准 | 产品符合有害物质限制标准 | |
| 内部功率监视器 | 是 | |
| 可更换的输出窗口 | 是,可由客户和现场更换 | |
| 可选的安全快门 | 外部安装,方便现场服务 | |
| 可更换主动激光净化系统 (ALPS) | 是 | |
| 可更换头部的干燥剂 | 是 | |
| 数据日志 | 用于诊断和设备维护的长期和短期记录 | |
脚注:
- 由于我们不断的产品改进计划,规格可能会发生变化,恕不另行通知。
- IceFyre FS是IV级高功率激光器,根据定义,其光束存在安全和火灾隐患。采取预防措施,防止暴露于直射光束和反射光束。漫反射和镜面反射会导致严重的皮肤或眼睛损伤。
- 高温、高湿运行仅限于结露点<19℃;高温、高湿存储仅限于露点<22°C。
- 标准系统包含交流至直流转换器模块。
- 标注的尺寸不包括可拆卸的提手。
功能
24/7 工业可靠性
正在申请专利的 IceFyre FS 激光器以MKS丰富的经验和技术为基础,通过了广泛的环境性能测试,以确保高可靠性和低拥有成本。该激光器采用全自动和计算机控制,在 24/7 运行期间在功率、光束参数和光束指向方面表现出优异的稳定性,可为要求苛刻的应用提供高精度和可重复性。
兼容的功率传感器
要验证和分析 IceFyre FS 激光器的输出功率,我们推荐使用 Ophir F150(200)A-CM-16 (7Z07107) 热功率传感器和 Centauri 激光功率计。 有关此激光测量设备的更多信息,请访问 ophiropt.com 网站。 其他 Ophir 传感器和仪表也可能适用于 IceFyre FS,详细情况取决于具体应用。 Ophir 还与激光系统开发人员合作,实现嵌入式光束诊断,提供了监控系统性能的 OEM 解决方案。
概述
IceFyre FS系列是工业飞秒激光技术的一次飞跃,提供行业领先的性能、多功能性、可靠性和拥有成本。IceFyre FS飞秒激光器非常适合对关键材料进行高产量、最高质量的微加工,包括玻璃、聚合物、金属、半导体、薄膜和复合材料,适用于要求苛刻的消费电子产品、清洁能源、医疗设备和工业应用。IceFyre FS 基于 Spectra-Physics 的 It's in the Box 设计,将激光和电子控制系统集成在一个易于安装的封装中。
卓越的多功能性, 实现最佳工艺性能
IceFyre FS UV50 是市面上性能顶尖的紫外飞秒激光器,在高达 3 MHz 的高重复频率下,可提供 >50 W 紫外输出功率、>50 µJ 脉冲能量及 <500 fs 脉冲宽度。IceFyre FS IR200 为红外波段产品,具备高平均功率(>200 W)与高脉冲能量(>200 µJ),重复频率范围极广,从单脉冲到 50 MHz 全覆盖。>200 W 的高平均功率、>200 µJ 的高脉冲能量,结合高达 50 MHz 的高重复频率,不仅能以极低的购置成本,更能将飞秒微加工应用的生产效率推向全新高度,为高精度加工场景赋能增效。
IceFyre FS 平台具有优异的多功能性,可实现极佳的工艺性能。它提供灵活的脉冲串模式,具有可调节重复率、按需脉冲(POD)和位置同步输出(PSO)触发,以及用于灵活的 TimeShift 可编程脉冲功能。
资源
技术文献
激光引领先进封装技术发展方向(1.6 MB, PDF) 可持续清洁能源技术之路,激光技术强势助力 半导体先进封装中的激光切割优化方案 优化锂离子电池箔材的激光切割工艺 超短脉冲激光优化镍钛合金微加工工艺 激光功能 USP如何推动电动汽车生产的进度 优化飞秒激光脉冲以获得卓越质量(1.8 MB, PDF) 工业飞秒激光的新进展助力下一代相关应用 使用超短脉冲激光器切割用于柔性 OLED 显示器的透明聚酰亚胺和硬涂层薄膜(517.5 kB, PDF) 超短脉冲激光器精密加工的功率选择(1.7 MB, PDF) 使用超短脉冲激光器进行玻璃微焊接 皮秒激光器为大批量制造带来变革 混合光纤激光器为微加工带来新的能力 用于加工高级电子材料的超快脉冲激光器技术 (616.4 kB, PDF) 混合光纤激光器使精密制造业更上一层楼(288.1 kB, PDF) 纳米到皮秒再到飞秒:可实现优异激光微加工结果的脉冲宽度 Femtosecond Lasers Enable Innovative Surfaces for Controlling Water Femtosecond Lasers Enable Innovative Surfaces for Controlling Water
应用说明
采用 ICEFYRE® FS IR200 飞秒激光脉冲串模式增强聚晶金刚石(PCD)消融效果 (5.6 MB, PDF) 紫外纳秒与红外飞秒激光技术烧蚀碳化硅的效率对比(11 MB, PDF) LCO + 镀铜工艺:为 TOPCon 太阳能电池注入绿色动能(1.4 MB, PDF) 使用高功率飞秒脉冲快速切割锂电池的电极(1.1 MB, PDF) 飞秒脉冲和位置同步 PSO 的结合极大地提高了产量和质量 (1.6 MB, PDF) 紫外飞秒激光器切割 OLED 智能手机显示屏(1.6 MB, PDF) 高功率紫外飞秒激光高质量切割聚合物薄膜(7 MB, PDF)
数据表
IceFyre FS 数据表(1.2 MB, PDF)
资料
加快了钙钛矿太阳能电池制造业的发展(67.4 MB, PDF) 革新锂离子电池制造(9.5 MB, PDF) OLED面板加工转型手册(13.5 MB, PDF)
图纸和CAD
IceFyre FS 尺寸(694.5 kB, PDF)



