Spirit

フェムト秒微細加工の新たなスタンダード

  • High average power up to >100 W at 1030 nmand >50 W at 515 nm
  • Same footprint for Spirit 1030-100, 1030-70 and 515-50 models
  • Adjustable repetition rate from single shot up to 30 MHz
         for processing at highest throughput
  • User-configurable burst mode for processing with highest ablation efficiency

The Spirit® シリーズは、産業用および医療用の高精度デバイス製造におけるフェムト秒レーザの新たなスタンダードを確立しました。 Spiritシリーズには、医療機器の製造に最適な、非常にコンパクトで低コストのSpiritOne(8 W出力)、 高アスペクト比の穴あけに最適な、パルスエネルギーが120 μJ、平均出力30 WのSpirit HE及び、高スループットと高品質で薄膜を切断するのに最適な高品質ビームを持った平均出力100WクラスのSpirit 100まであり、豊富に取り揃えております。

業界でも最短クラスのパルス幅、優れたビームポインティング安定性及び、ビーム品質により、熱影響(HAZ)の少ない高精度、高品質で複雑、困難な部材への加工も実現します。 Spiritシリーズは、産業用に設計されており、低コストで信頼性の高い24時間365日の運用が可能なレーザーです。

Spiritのプラットフォームは、多彩な機能とパフォーマンスを提供いたします。 広範囲なアウトプットパワーとパルスエネルギーにおいて、クラス最高のビーム品質とビーム位置安定性を維持しながら、出力パルス・ゲーティング、出力パワー変調、バースト・モードといった多彩な機能を有しています。Spiritのプラットフォームが提供する幅広いパフォーマンスによって、お客様の利用に最適でご予算に合ったフェムト秒レーザをご提供することができます。

第2高調波発生(SHG)は、各製品で利用可能で、515 nmの波長で> 最大50 Wの出力を提供します。 このより短い波長では、材料に応じた超精密な加工を高品質で可能であり、現在の他の技術で得られるものに比べて高速です。

Spiritシリーズは、信頼性の高い24/7運用のための厳しい品質基準に基づいて設計され、テストされています。 Spirit100では、内蔵のデータロギングおよび解析機能により、システムの寿命期間に渡り、すべての関連するレーザーパラメータをモニタリングすることができます。 このように、これはサービスと予防保守のための不可欠な診断ツールであり、稼働時間とツールの生産性を大幅に向上させます。

アプリケーション

金属の穿孔と切削
硬くて脆い材料の精密加工
多結晶ダイヤモンド(PCD)切断およびアブレーション
フェムト秒微細加工
医療機器製造
サファイアの切削と掘削
ガラスの強化と強化
時間分解フェムト秒分光
2光子および3光子顕微鏡
光パラメトリック増幅器ポンピング
 Spirit One 1040-8Spirit One 1040-8-SHGSpirit HE 1040-16Spirit HE 1040-16-SHGSpirit HE 1040-30Spirit HE 1040-30-SHGSpirit 1030-100Spirit 1030-70Spirit 515-50
Wavelength 1040 nm ±5 nm 1030 nm ±5 nm 515 nm ±3 nm
Output Power >8 W >16 W >30 W >100 W >70 W >50 W
Pulse Energy >40 µJ at 200 kHz >120 µJ at 100 kHz >120 µJ at 250 kHz >100 µJ at 1 MHz >70 µJ at 1 MHz >50 µJ2
Wavelength (SHG) NA 520 ±3 nm NA 520 ±3 nm NA 520 ±3 nm NA 515 ±3 nm
Output Power (SHG)
NA >4 W at
200 kHz
NA >6 W at 100 kHz
>8 W at 200 kHz
NA >15 W at 250 kHz NA >50 W2
Max Pulse Energy (SHG)
NA >20 μJ at 200 kHz NA >60 µJ at 100 kHz
>40 µJ at 200 kHz
NA >60 µJ at 250 kHz NA >50 µJ2
Repetition Rates1,2 200 kHz or 1 MHz 100 kHz, 200 kHz or 1 MHz 250 kHz or 1 MHz 1-30 MHz
Pulse Selection Integrated pulse picker (AOM) Single shot to 2 MHz using Integrated Pulse Picker (AOM)
Pulse Width <400 fs
Pulse Width Tunability3,4 ≤400 fs to 4 ps <400 fs to 10 ps at 1040 nm NA
Power Stability <1% rms over 100 hours
Pulse-to-Pulse Stability <2% rms
Spatial Mode TEM00 (M2 <1.2)
Beam Diameter at exit 2 ±0.2 mm5 2.5 ± 0.5 mm5 2.5 ±0.5 mm
Beam Divergence, full angle <1 mrad  at 1040 nm; <0.5 mrad at 520 nm <1 mrad <0.5 mrad
Pre-Pulse Contrast Ratio >250:1
Polarization Vertical Horizontal
Cold Start Time <30 min.
Warm Start Time <15 min.
   
 Spirit One 1040-8Spirit One 1040-8-SHGSpirit HE 1040-16Spirit HE 1040-16-SHGSpirit HE 1040-30Spirit HE 1040-30-SHGSpirit 1030-100Spirit 1030-70Spirit 515-50  
Operating Temperature 18–30°C (64–86°F) 15–35°C (59–95 °F)  
Relative Humidity <65%, non-condensing  
   
 Spirit One 1040-8Spirit One 1040-8-SHGSpirit HE 1040-16Spirit HE 1040-16-SHGSpirit HE 1040-30Spirit HE 1040-30-SHGSpirit 1030-100Spirit 1030-70Spirit 515-50  
Laser Head Water cooled  
Power Supply NA Air cooled Water cooled  
   
 Spirit One 1040-8Spirit One 1040-8-SHGSpirit HE 1040-16Spirit HE 1040-16-SHGSpirit HE 1040-30Spirit HE 1040-30-SHGSpirit 1030-100Spirit 1030-70Spirit 515-50  
Voltage Laser Head: 24 VDC
Chiller: 100-240 V, 50/60 Hz
Laser controller (including chiller): 100-240 V, 50 Hz/60 Hz Laser controller: 208–230 V, 50/60 Hz
Chiller: 208-230 V, 50/60 Hz
 
Current <15 A <16 A  
   
 Spirit One 1040-8Spirit One 1040-8-SHGSpirit HE 1040-16Spirit HE 1040-16-SHGSpirit HE 1040-30Spirit HE 1040-30-SHGSpirit 1030-100Spirit 1030-70Spirit 515-50  
Dimensions (L x W x H) 26.2 x 12.2 x 5.2 in
(665 x 310 x 133 mm)
29.1 x 12.2 x 5.2 in
(740 x 310 x 133 mm)
32.5 x 14 x 6.5 in
(875 x 340 x 160 mm)
39.5 x 14.5 x 8.1 in
(1003 x 369 x 205 mm)
 
Weight 88 lb (40 kg) 99 lb (45 kg) 155 lb (70 kg)  
   
 Spirit One 1040-86Spirit One 1040-8-SHG6Spirit HE 1040-16Spirit HE 1040-16-SHGSpirit HE 1040-30Spirit HE 1040-30-SHGSpirit 1030-100Spirit 1030-70Spirit 515-50  
Dimensions (L x W x H) 19.0 x 15.8 x 10.5 in
(484 x 400 x 267 mm)
23.6 x 22.0 x 29.4 in
(600 x 560 x 746 mm)
31.5 x 21.8 x 43.4 in
(800 x 553 x 1102 mm)
 
Weight 68 lb (31 kg) 176 lb (80 kg) 220 lb (100 kg)  

1. Due to our continuous product improvement program, specifications are subject to change without notice. 
2. Additional, pre-calibrated repetition rates upon request; please contact Spectra- Physics.  For Spirit 70/100 the maximum pre-calibrated repetition rate is 30 MHz,
    for Spirit HE 16 and Spirit HE 30, the maximum pre-calibrated repetition rate is 1 MHz.
3. Pulse duration tunability is optional; if implemented, pulse duration is software tunable.
4. Conversion efficiency for SHG module will be lower for longer pulse width. Pulse width tunability not specified for  520 nm output.
5. Beam diameter at exit at IR and SHG output.
6. Power supply only.

 

Spirit 1030-100, 1030-70 and 515-50 Dimensions

Spirit 1030-100, 1030-70 and 515-50 Rack with Power Supply and Chiller Dimensions

Spirit HE Dimensions

Spirit HE Rack with Power Supply and Chiller Dimensions

Spirit One 1040-8 Dimensions

Spirit One 1040-8-SHG Dimensions

類似製品

製品 説明
femtoTrain
コンパクト, 高信頼性高エネルギーフェムト秒レーザー
HighQ-2
超コンパクト・空冷波長固定・フェムト秒レーザー

製品をサポート

Product Description
Spirit-OPA
Automated collinear optical parametric amplifiers (OPAs)
Spirit-NOPA
Automated non-collinear optical parametric amplifiers (OPAs)
10A
Low power thermal sensors – 20 mW to 10 W