多功能紫外、绿光和红外皮秒激光器:皮秒微加工的新标准
IceFyre UV50 | IceFyre UV30 | IceFyre GR50 | IceFyre IR50 | |
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波长 | 355 nm | 532 nm | 1064 nm | |
功率2, 3 | >50 W @ 1250 kHZ | >30 W 典型值 @ 500 kHz >25 W @ 800 kHz >20 W 典型值 @ 1 MHz |
>50 W @ 500 kHZ | >50 W @ 400 kHZ |
最大脉冲能量, 典型值 (TimeShift ps 可实现更高的每突发脉冲能量) |
>40 µJ @ 1250 kHz | >60 µJ 典型值 @ 500 kHz >31 µJ @ 800 kHz >20µJ 典型值 @ 1 MHz |
>100 µJ 单脉冲 @ 500 kHz | >200 µJ 单脉冲 @ 200 kHz |
重复频率范围6 | 单脉冲 至 10 MHz | |||
P脉冲宽度, FWHM2 | <12 ps (10 ps 典型值) | <15 ps (13 典型值) | ||
TimeShift ps | 是 | |||
脉冲对脉冲能量稳定性2 | <2.0% rms, 1 σ | <1.5% rms, 1 σ | ||
功率稳定性(预热后)2 | <1%, 1 σ, 超过 8 小时 |
IceFyre UV50 | IceFyre UV30 | IceFyre GR50 | IceFyre IR50 | |
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空间模式2 | TEM00, M2 <1.3 | |||
偏振 | >100:1 垂直 | >100:1 水平的 | >100:1 垂直 | |
光束直径 (D4σ)2 | 5.0 ±0.5 mm | 3.5 ±0.35 mm | 3.0 ±0.3 mm | |
发散角,全圆角2 | <0.20 mrad | <0.75 mrad | ||
光束不对称性2 | <1.10 (≥90% 圆形度) | |||
孔径公差2 | ±0.5 mm, ±5 mrad | |||
光束指向稳定性2 | <±25 µrad/°C |
IceFyre UV50 | IceFyre UV30 | IceFyre GR50 | IceFyre IR50 | |
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预热时间, 典型值 | <45 min 从热启动模式,<60 min 从冷启动7 | <15 min 从热启动模式, <40 min 从冷启动7 | ||
温度范围 | 15-30°C | |||
海拔 | 0-2,000 m | |||
湿度7 | 0-90% 非冷凝, 结露点 <19°C |
IceFyre UV50 | IceFyre UV30 | IceFyre GR50 | IceFyre IR50 | |
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温度范围 | 0-50°C | |||
海拔 | 0-10,000 m | |||
湿度7 | 0-90% 非冷凝, 结露点 <22°C |
IceFyre UV50 | IceFyre UV30 | IceFyre GR50 | IceFyre IR50 | |
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水温(激光器入口) | 20 ±1°C, 稳定至 ±0.5°C | |||
水流量(在激光头部) | 1.8 GPM 典型值 (6.8 LPM) | |||
交流输入 | 200 VAC (180-260), 2000 W 最大值, 50/60 Hz, 单相 | 100-240 VAC, 1000 W 最大值, 50/60 Hz, 单相 | ||
热负载(在激光头部) | <1600 W | <800 W (600 W 典型值) | ||
热负载(电源处) | <300 W | <200 W | ||
总功率消耗 | <2000 W | <1000 W |
IceFyre UV50 | IceFyre UV30 | IceFyre GR50 | IceFyre IR50 | |
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激光尺寸 (长 x 宽 x 高)4 |
42.14 x 19.88 x 7.63 in (1070.4 x 504.8 x 193.06 mm) |
35.00 x 12.13 x 7.63 in (889.0 x 308.0 x 193.8 mm) |
29.50 x 12.13 x 7.50 in (749.5 x 308.0 x 190.6 mm) |
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激光重量 | 215 磅 (97.5 kg) | 108 磅 (49 kg) | 95 磅 (43 kg) | |
尺寸 (实用模块) (长 x 宽 x 高) |
21.16 x 18.02 x 1.58 in (537.5 x 457.7 x 40.1 mm) | |||
重量 (实用模块) | 24.70 磅 (11.20 kg) | 22.80 磅 (10.34 kg) | 15.00 磅 (6.80 kg) |
IceFyre UV50 | IceFyre UV30 | IceFyre GR50 | IceFyre IR50 | |
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符合 EU RoHS 2,中国 RoHS 2,CE 标准 | 产品符合有害物质限制 | |||
内部功率监控 | 可使用外部功率计进行校准 | |||
连续光模式,用于准直调校 | 用于工具中安装与校准的低功率红外光束(需选配 AOM) | |||
可更換的輸出窗口 | 客户可自行更换,以便在严苛环境中保持功率 | |||
数据记录(也包括客户版本)9 | 诊断与设备维护的长短期记录 | |||
可选安全快门 | 外部安装,便于现场维修或客户自行更换 | |||
可选 AOM 输出 | 不适用(通过软件控制进行功率衰减。请参阅Spectra-Physics) | 提供恒定功率的功率衰减,与触发器、光栅和按需脉冲搭配使用,用作工艺光闸 | ||
可选 TimeShift ps GUI | 提供波形定制功能 |
注释:
IceFyre® 采用正在申请专利的设计重新定义皮秒微加工激光器,以领先的性价比实现卓越的性能和优异的多功能性。基于Spectra-Physics 的 It’s in the Box 设计 IceFyre 将激光器和控制器集成到极其小的封装中。
IceFyre 355-50 是市面上表现极佳的紫外皮秒激光器,在 1.25 MHz (>40 μJ) 时提供 >50 W 的紫外输出功率,脉冲串模式下的脉冲能量为 100 μJ,脉冲宽度为 10 ps。 IceFyre 355-50 设定了从单次激发到 10 MHz 的功率和重复率的新标准。 IceFyre 355-30 提供 >30W 的典型紫外输出功率,脉冲能量 >60 µJ(脉冲串模式下脉冲能量更大),并提供从单次激发到 3 MHz 的优异性能。 IceFyre 1064-50 在 400 kHz 单脉冲时提供 >50 W 的红外输出功率,并提供从单次激发到 10 MHz 的优异性能。 IceFyre 的独特设计利用光纤激光器的灵活性和 Spectra-Physics 独有的功率放大器能力,实现 TimeShift™ ps 可编程脉冲串模式技术,实现业内极其高的多功能性和极其广泛的应用范围。 每台激光器均配备一组标准波形;可选的 TimeShift ps GUI 可用于创建自定义波形。 该激光器的设计可为高扫描速度的优质加工(例如使用多面扫描镜)实现同类激光器中时间抖动极其低的按需脉冲 (POD) 和位置同步输出 (PSO) 触发功能。
正在申请专利的 IceFyre FS 激光器以MKS丰富的经验和技术为基础,通过了广泛的环境性能测试,以确保高可靠性和低拥有成本。该激光器采用全自动和计算机控制,在 24/7 运行期间在功率、光束参数和光束指向方面表现出优异的稳定性,可为要求苛刻的应用提供高精度和可重复性。
要验证和分析 IceFyre 激光器的输出功率,我们推荐使用 Ophir F80(120)A-CM-17 (7Z07103) 热功率传感器和 Centauri 激光功率计。 有关此激光测量设备的更多信息,请访问 ophiropt.com 网站。 其他 Ophir 传感器和仪表也可能适用于 IceFyre,详细情况取决于具体应用。 Ophir 还与激光系统开发人员合作,实现嵌入式光束诊断,提供了监控系统性能的 OEM 解决方案。
选择最适合您的 IceFyre 激光器的正确光学器件和光机组件 至关重要。IceFyre 的高红外峰值功率需要具有高损伤阈值的光学器件。MKS Newport 提供多种最高质量的光学器件和光学元件,涵盖整个光谱紫外、可见光、近红外和红外波长,以帮助您应对最具挑战性的应用。