适用于微纳机械加工的飞秒/皮秒激光器
Spectra-Physics 在要求严苛的制造应用领域装机了成千上万台飞秒和皮秒激光器、为先进的微纳机械加工应用提供具有高度可靠性、确保能够多年正常运转的飞秒/皮秒激光器。

ClearShape™ 速度大于 1 米每秒的最高质量玻璃切割
飞秒激光器选购指南 |
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Spirit
设定高精度飞秒加工的新标准 |
Pulse Width
<400 fs
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Average Power
>100 W
>70 W >30 W >16 W >8 W |
Pulse Energy
>100 µJ
>70 µJ >120 µJ >120 µJ >40 µJ |
Rep Rate
Up to 10 MHz
Up to 10 MHz Up to 1 MHz Up to 1 MHz Up to 1 MHz |
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Solstice Ace
高能量一体化工业级超快放大器 ![]() |
Pulse Width
<35 fs
<120 fs |
Average Power
可超 >7 W
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Pulse Energy
可超 >6 mJ
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Rep Rate
1–10 kHz
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femtoTrain
一体式高功率飞秒激光器 ![]() |
Pulse Width
<220 fs
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Average Power
>5.0 W
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Pulse Energy
>500 nJ
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Rep Rate
10 MHz
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HighQ-2
一体式固定波长飞秒激光器 ![]() |
Pulse Width
<250 fs
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Average Power
>1.5 W
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Pulse Energy
>24 nJ
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Rep Rate
63 MHz
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显微机械加工激光器应用
强化玻璃切割 |
非强化玻璃切割 |
蓝宝石切割 |
玻璃钻孔 |
玻璃切割 |
蓝宝石切割 |
像素修复 |
薄膜图案化 |
导管制造 |
插管钻孔 |
导线剥离 |
假肢制造 |
低介电常数切槽 |
晶片检验 |
陶瓷划刻/钻孔 |
钻孔 |
TSV 和 TGV 钻孔 |
聚合物导管制造 |
双光子聚合 |
聚酰亚胺切割/钻孔 |
立体光刻 |
金属箔切割/钻孔 |
镍钛合金导管制造 |