适用于微纳机械加工的飞秒/皮秒激光器

Spectra-Physics 在要求严苛的制造应用领域装机了成千上万台飞秒和皮秒激光器、为先进的微纳机械加工应用提供具有高度可靠性、确保能够多年正常运转的飞秒/皮秒激光器。

ClearShape™ 速度大于 1 米每秒的最高质量玻璃切割

飞秒激光器选购指南
产品说明脉冲宽度平均功率脉冲能量重复频率
Spirit
设定高精度飞秒加工的新标准
 
 
Pulse Width
<400 fs
Average Power
>100 W
>70 W
>30 W
>16 W
>8 W
Pulse Energy
>100 µJ
>70 µJ
>120 µJ
>120 µJ
>40 µJ
Rep Rate
Up to 10 MHz
Up to 10 MHz
Up to 1 MHz
Up to 1 MHz
Up to 1 MHz
  
Solstice Ace
高能量一体化工业级超快放大器
 
Pulse Width
<35 fs
<120 fs
Average Power
可超 >7 W
Pulse Energy
可超 >6 mJ
Rep Rate
1–10 kHz
  
femtoTrain
一体式高功率飞秒激光器
 
Pulse Width
<220 fs
Average Power
>5.0 W
Pulse Energy
>500 nJ
Rep Rate
10 MHz
  
HighQ-2
一体式固定波长飞秒激光器
 
Pulse Width
<250 fs
Average Power
>1.5 W
Pulse Energy
>24 nJ
Rep Rate
63 MHz
  

皮秒激光器选购指南
产品说明脉冲宽度平均功率脉冲能量重复频率
new
IceFyre
适用于精密微加工的全能型全新格局皮秒激光器
new
 
Pulse Width
<20 ps
Average Power
>50 W
Pulse Energy
>200 μJ
Rep Rate
可达 8 MHz
  
Vanguard
锁模、准连续波飞秒激光器
 
Pulse Width
<12 ps
Average Power
可超 >2.5 W
Pulse Energy
>31 nJ
Rep Rate
80 MHz
  

显微机械加工激光器应用

强化玻璃切割
非强化玻璃切割
蓝宝石切割
玻璃钻孔
玻璃切割
蓝宝石切割
像素修复
薄膜图案化
导管制造
插管钻孔
导线剥离
假肢制造
低介电常数切槽
晶片检验
陶瓷划刻/钻孔
钻孔
TSV 和 TGV 钻孔
聚合物导管制造
双光子聚合
聚酰亚胺切割/钻孔
立体光刻
金属箔切割/钻孔
镍钛合金导管制造