微細加工用超短パルスレーザー
Spectra-Physicsは、数千台にも及ぶフェムト秒レーザーの納入実績があり、加工精度の要求が高い最先端微細加工分野において長期間安定動作可能な極めて信頼性の高いレーザーシステムを供給致します。
| 概要 | パルス幅 | 出力 | パルス エネルギー |
繰返し 周波数 |
|
|---|---|---|---|---|---|
 |
IceFyre®FS 24/7 運転、難加工材料マイクロマシニング向けの画期的な高出力UVフェムト秒レーザー |
<500 fs | >50 W UV >200 W IR |
>50 µJ >200 µJ |
1-3 MHz 1-50 MHZ |
 |
Spirit® 高出力フェムト秒レーザー高精度マイクロマシニング |
<400 fs | >30 W >16 W >8 W |
>120 µJ >120 µJ >40 µJ |
250 kHz or 1 MHz 100, 200 kHz or 1 MHz 200 kHz or 1 MHz |
 |
Solstice® Ace™ 高エネルギー産業用超短パルスアンプ |
<35 fs- <120 fs |
>8 W | >1.6 mJ | 1-10 kHz |
 |
femtoTrain™ 高ピークパワーフェムト秒発振器 |
<220 fs | >5.0 W | >500 nJ | 10 MHz |
 |
HighQ-2™ 波長固定フェムト秒レーザー超コンパクト、空冷 |
<250 fs | >1.5 W | >24 nJ | 63 MHz |