フラットパネルディスプレイ加工

フラットパネルディスプレイ製造の更なる向上を提供します

Spectra-Physicsは、有機EL、液晶など、FPD製造向けレーザーのリーディングサプライヤーです。レーザーによるガラス切断、穴あけ、ITOパターニング、リペア、マーキングなど幅広いFPD関連製造において豊富な経験と実績をもとに、信頼性の高い幅広い製品群をベースに、24/7 使用のフラットパネル製造分野のレーザーを低コスト、そして、グローバルなサポートでお届けいたします。

速度1500 mm/s以上での強化ガラス切断、及び難加工材質切断
フェムト秒、ナノ秒レーザーによるアモルファス有機EL、液晶の高精度リペアの更なる効率化
コストパーフォーマンスを追求したレーザーによる最適なフィルム切断、スクライビング

ClearShape 産業用レーザー切断プロセス

Spectra-Physicsは、特許出願中のフェムト秒レーザープロセスであるClearShape™を発表しました。これは、化学強化ガラス、非強化ガラス、およびサファイアにおいて最高品質の高速切断を実現します。1000 mm/秒を超える速度で、この新しいプロセスにより、他のレーザープロセスに比べて切断品質が数倍向上します。チッピングがなく、Ra <0.1 µmのエッジ粗さで、化学強化ガラスの切断時の曲げ強度が>650 MPaを超えます。既に幅広く使用されている産業用フェムト秒レーザーのSpirit®ファミリーを使用したこの新しいプロセスは、ディスプレイならびにモバイルデバイス、ウェアラブル、およびその他、厳しい要求を求められるアプリケーションなど、24時間年中無休の製造に最適です。

PIおよびPETプラスチック加工

515および1030nmの波長で動作するSpirit1030-100-SHGレーザーシステムは、フレキシブルOLEDディスプレイに通常使用される75μm厚のPIおよびPETプラスチックのリボンの切断に使用されています。図1は、Spirit1030-100-SHGレーザーを使用して加工されたPIおよびPETプラスチックの顕微鏡画像を示しています。1030nmで平均出力100Wで動作時、双方のプラスチックで1m/sを超える切断速度が達成され、最小限の熱損傷(HAZ<50.m)と言える高い加工品質を達成することも可能となっています。実証された切断速度と品質は、OLEDディスプレイメーカーの要件を満たします。フラットパネルディスプレイ製造に関する追加情報については、Newport.com をご参照ください。

PET (left) and PI (right) polymer 75 um thick films cut with a Spectra-Physics Spirit 100 W IR fs laser

図 1. PET (左)およびPI (右)ポリマー75 um厚のフィルムを、Spectra-Physics Spirit 100W IRフェムト秒レーザーで切断。切断速度は、PETで>1m/s、PIで650mm/s。結果は最小限のHAZを示しています。